Ritenga N Momo SiC Seed Substrate Dia153 / 155mm Mo te Hikohiko Hiko



Whakataki
Ko nga taputapu kakano Silicon Carbide (SiC) te mea turanga mo nga reanga tuatoru-whakatupuranga Semiconductors, he mea tohu na te tino kaha o te kawe werawera, te kaha o te waahi hiko pakaru, me te hikoi hiko teitei. Ko enei taonga he mea nui mo te hikohiko hiko, taputapu RF, waka hiko (EV), me nga tono hiko whakahou. He tohungatanga a XKH ki te R&D me te hanga i nga taputapu kakano SiC-kounga teitei, e whakamahi ana i nga tikanga tipu o te karaihe matatau penei i te Physical Vapor Transport (PVT) me te High-Temperature Chemical Vapor Deposition (HTCVD) hei whakarite i te kounga o te karaihe e arahi ana i te ahumahi.
Ka tukuna e XKH nga taputapu purapura SiC 4-inihi, 6-inihi, me te 8-inihi me te doping momo N-momo/P-momo, ka eke ki nga taumata parenga o te 0.01-0.1 Ω·cm me te kiato dislocation i raro i te 500 cm⁻², he pai mo te hanga MOSFET, Schottky Barriers. Ko ta maatau mahi whakangao whakahiato poutū e kapi ana i te tipu o te karaihe, te tapahi angiangi, te whakakoi, me te tirotiro, me te kaha whakangao ia marama neke atu i te 5,000 angiangi ki te whakatutuki i nga hiahia kanorau o nga whare rangahau, kaihanga semiconductor, me nga kamupene hiko whakahou.
I tua atu, ka whakaratohia e matou he otinga ritenga, tae atu ki:
Whakaritenga ritenga kirikiri (4H-SiC, 6H-SiC)
Doping motuhake (Konumohe, Nitrogen, Boron, etc.)
Orooro tino-maeneene (Ra <0.5 nm)
Ka tautokohia e te XKH te tukatuka i runga i nga tauira, nga korero hangarau, me te tauira tauira-iti ki te tuku i nga otinga o te taputapu SiC.
Tawhā Hangarau
Silicon carbide angiangi purapura | |
Polytype | 4H |
Hapa takotoranga mata | 4° ki te<11-20>±0.5º |
Te ātete | whakaritenga |
Diamita | 205±0.5mm |
Mātotoru | 600±50μm |
Te taratara | CMP,Ra≤0.2nm |
Kiatotanga Micropipe | ≤1 ea/cm2 |
Nga karawarawa | ≤5, Tapeke Length≤2 * Diameter |
Nga maramara tapanga/nuku | Karekau |
Tohu taiaho o mua | Karekau |
Nga karawarawa | ≤2, Tapeke Length≤Diameter |
Nga maramara tapanga/nuku | Karekau |
Nga waahi polytype | Karekau |
Te tohu taiaho tuara | 1mm (mai i te taha runga) |
Tapa | Chamfer |
Te takai | Ripene angiangi maha |
Raupapa Kakano SiC - Nga Ahuatanga Matua
1. Ahuatanga Tino Tino
· Te kaha o te waiariki (~ 490 W/m·K), he nui rawa atu i te silicon (Si) me te gallium arsenide (GaAs), he pai mo te whakamahana taputapu kaha-kaha.
· Te kaha o te mara pakaru (~ 3 MV/cm), ka taea te mahi pumau i raro i nga tikanga ngaohiko teitei, he mea nui mo nga hurihuri EV me nga waahanga hiko ahumahi.
· Te aputa whanui (3.2 eV), te whakaheke i te rerenga rerenga i te pāmahana teitei me te whakarei ake i te pono o te taputapu.
2. Kounga Kiriata Nui
· Ko te hangarau tipu ranu PVT + HTCVD e whakaiti ana i nga hapa o te micropipe, e mau tonu ana te kiato wehenga i raro i te 500 cm⁻².
· Kopere angiangi/warp <10 μm me te taratara mata Ra <0.5 nm, whakarite hototahi ki te lithography pū tiketike me ngā tukanga waipara kiriata angiangi.
3. Kōwhiringa Doping Kanorau
·Momo-N (Nitrogen-doped): He iti te parenga (0.01-0.02 Ω·cm), he mea whakarite mo nga taputapu RF auau teitei.
· Momo-P (Konumohe-doped): He pai mo nga MOSFET mana me nga IGBT, te whakapai ake i te tere kawe.
· SiC Semi-insulating (Vanadium-doped): Ātete > 10⁵ Ω·cm, i whakahāngaitia mō ngā kōwae mua-mutunga 5G RF.
4. Te Pumau Taiao
· Te parenga teitei (>1600°C) me te pakeke radiation, e tika ana mo te aerospace, taputapu karihi, me etahi atu taiao tino kino.
Nga Taapapa Kakano SiC - Nga Tono Tuatahi
1. Hiko Hiko
· Nga Waka Hiko (EVs): Ka whakamahia i roto i nga riihini i runga i te papa (OBC) me nga hurihuri hei whakapai ake i te pai me te whakaiti i nga hiahia whakahaere waiariki.
· Pūnaha Hiko Ahumahi: Whakarei ake i nga kaitahuri photovoltaic me nga matiti atamai, ka eke ki te >99% te pai o te huri hiko.
2. Pūrere RF
· 5G Base Stations: Semi-insulating SiC substrates taea GaN-on-SiC RF whakakaha hiko, tautoko i te auau-nui, te tuku tohu hiko teitei.
Nga Whakawhitiwhiti Whakawhitiwhiti: Ko nga ahuatanga iti-mate e pai ana mo nga taputapu ngaru-mirimimita.
3. Pūngao Whakahou me te Rokiroki Pungao
· Te Hiko o te Ra: Ko nga MOSFET SiC e whakanui ana i te kaha o te hurihanga DC-AC i te wa e whakahekehia ana nga utu o te punaha.
· Pūnaha Rokiroki Pūngao (ESS): Ka arotau i nga kaitahuri ahurua me te whakaroa i te roanga o te pākahiko.
4. Tiaki & Aerospace
· Pūnaha Radar: Ka whakamahia nga taputapu SiC kaha-nui i roto i nga radar AESA (Active Electronically Scanned Array).
· Te Whakahaere Hiko Mokowhiti: He mea tino nui nga taputapu SiC-atete iraruke mo nga miihana mokowhiti-hohonu.
5. Rangahau me nga Hangarau Putanga
· Rorohiko Quantum: Ka taea e te SiC parakore teitei te mahi rangahau qubit.
· Pūoko Maama-nui: Ka tukuna ki te torotoro hinu me te aro turuki i te reactor karihi.
Nga Rarangi Kakano SiC - Ratonga XKH
1. Painga Raina Whakarato
· Te hangahanga poutū: Te mana katoa mai i te paura SiC parakore teitei ki nga angiangi kua oti, me te whakarite i nga wa arahi mo nga wiki 4-6 mo nga hua paerewa.
· Te whakataetae utu: Ka taea e nga ohanga o te tauine te 15-20% te iti ake o te utu i nga whakataetae, me te tautoko mo nga Whakaaetanga Waa-roa (LTA).
2. Ratonga Whakaritenga
· Te takotoranga tioata: 4H-SiC (paerewa) ranei 6H-SiC (nga tono motuhake).
· Te arotautanga o te doping: He momo N-momo/P-momo/haaiti-iti.
· Orooro matatau: CMP oro me te epi-rite maimoatanga mata (Ra <0.3 nm).
3. Tautoko Hangarau
· Whakamātautau tauira kore utu: Kei roto ko te XRD, te AFM, me nga ripoata inenga a te Hall.
· He awhina whaihanga taputapu: Ka tautoko i te tipu epitaxial me te arotautanga hoahoa taputapu.
4. Whakautu Tere
· Te tuhi tauira iti: Ko te ota iti rawa kia 10 nga angiangi, ka tukuna i roto i te 3 wiki.
· Nga mahi o te ao: Nga mahi whakahoahoa me te DHL me te FedEx mo te tuku mai i nga tatau-ki-te-tatau.
5. Whakaaetanga Kounga
· Tirohanga-tukatuka katoa: Ka hipokina te ahua o te hihi X-ray (XRT) me te tātari kiato koha.
· Nga Tiwhikete o te Ao: E tika ana ki te IATF 16949 (automotive-grade) me nga paerewa AEC-Q101.
Whakamutunga
He pai rawa atu nga taputapu kakano SiC a XKH i roto i te kounga tioata, te pumau o te mekameka tuku, me te ngawari o te whakarite, te mahi i te hikohiko hiko, te whakawhitiwhiti 5G, te kaha whakahou, me nga hangarau arai. Kei te ahu whakamua tonu tatou i te hangarau hanga papatipu SiC 8-inihi hei akiaki i te ahumahi semiconductor whakatipuranga tuatoru.