Au pani angiangi, angiangi hapaira, angiangi hiona, SiC angiangi, 2inihi 4inihi 6inihi, te matotoru whakakikorua koura 10nm 50nm 100nm
Nga waahanga matua
| Āhuahira | Whakaahuatanga |
| Rauemi Raupapa | Silicon (Si), Hapira (Al₂O₃), Silicon Carbide (SiC) |
| Te Matotoru Whakakikorua koura | 10nm, 50nm, 100nm, 500nm |
| Koura Pure | 99.999%te ma mo te mahi tino pai |
| Kiriata Whakapiri | Chromium (Cr), 99.98% parakore, te whakarite kia kaha te piri |
| Riroke Mata | He maha nga nm (te kounga o te mata maeneene mo nga tono tika) |
| Ātete (Si Wafer) | 1-30 Ohm/cm(i runga i te momo) |
| Rahi Wafer | 2-inihi, 4-inihi, 6-inihi, me nga rahi ritenga |
| Matotoru (Si Wafer) | 275µm, 381µm, 525µm |
| TTV (Tapeke Rerekēnga Matotoru) | ≤20µm |
| Papa Tuatahi (Si Wafer) | 15.9 ± 1.65mmki32.5 ± 2.5mm |
He aha te mea he mea nui te whakakikorua koura ki te Ahumahi Semiconductor
Te Kawenga Hiko
Ko te koura tetahi o nga rawa tino pai motuku hiko. Ko nga angiangi kua whakakikoruatia ki te koura e whakarato ana i nga ara-atete iti, he mea nui mo nga taputapu semiconductor e hiahia ana ki nga hononga hiko tere me te pumau. Ko tepurenga teiteio te koura e whakarite te kawe pai, te whakaiti i te mate tohu.
Te Waipara
Ko te kourakore-waikurame te tino ātete ki te hāora. Ma tenei ka pai mo nga tono semiconductor e mahi ana i nga taiao kino, e pa ana ki te teitei o te mahana, te makuku, me etahi atu tikanga kino. Ko te angiangi kua whakakikoruatia ki te koura ka mau tonu ona ahuatanga hiko me te pono i roto i te waa, ka hoatu heora ratonga roamo nga taputapu e whakamahia ana.
Whakahaere Weariki
Te kourapai te kawe waiarikika whakarite kia marere pai te wera i puta i te wa e mahi ana nga taputapu semiconductor. He mea tino nui tenei mo nga tono mana nui peneiNga LED, hiko hiko, anga taputapu optoelectronic, i te nui o te wera ka paheke te taputapu ki te kore e tika te whakahaere.
Te Mauroa Hangarau
Ko nga whakakikorua koura e whakarato anatiaki miihiniki te angiangi, te aukati i te kino o te mata i te wa e whakahaere ana me te tukatuka. Ko tenei paparanga whakamarumaru taapiri ka whakarite kia mau tonu te hangai me te pono o nga angiangi, ahakoa i roto i nga ahuatanga uaua.
Ko nga ahuatanga o muri i te paninga
Kounga Mata Whakarei
Ko te whakakikorua koura ka whakapai ake i tete maeneene o te matao te angiangi, he mea tino nui moteitei-pūtono. Ko tete taratara o te mataka whakaitihia ki te maha nga nanometer, kia pai ai te koha o te mata mo nga mahi peneihononga waea, whakapiringa, aphotolithography.
Kua Pai ake te Hononga me te Whakakotahitanga
Ko te paparanga koura e whakanui ana i teāhuatanga hereo te angiangi, e pai ana mohononga waeaaherenga pire maramara. Ka puta mai he hononga hiko haumaru me te roa ki rotoIC tākaiahui semiconductor.
Te Waikura-Kore me te Roa-roa
Ma te whakakikorua koura ka noho kore te wafer mai i te waikura me te paheketanga, ahakoa i muri i te roanga o nga ahuatanga o te taiao. Ka whai hua tenei ki tepūmautanga wā roao te taputapu semiconductor whakamutunga.
Te Hauaariki me te Hiko
Ko nga mea angiangi kua whakakikoruatia ki te koura he rite tonutohanga waiarikiate kawe hiko, ka pai ake te mahi me teponoo nga taputapu i roto i te waa, ahakoa i roto i nga wera nui.
Tawhā
| Taonga | Uara |
| Rauemi Raupapa | Silicon (Si), Hapira (Al₂O₃), Silicon Carbide (SiC) |
| Te Matotoru Papa koura | 10nm, 50nm, 100nm, 500nm |
| Koura Pure | 99.999%(te parakore teitei mo te mahi tino pai) |
| Kiriata Whakapiri | Chromium (Cr),99.98%mā |
| Riroke Mata | He maha nga nanometera |
| Ātete (Si Wafer) | 1-30 Ohm/cm |
| Rahi Wafer | 2-inihi, 4-inihi, 6-inihi, rahi ritenga |
| Si Wafer Thickness | 275µm, 381µm, 525µm |
| TTV | ≤20µm |
| Papa Tuatahi (Si Wafer) | 15.9 ± 1.65mmki32.5 ± 2.5mm |
Nga tono mo nga angiangi whakakikoruatia ki te koura
Whakapaipai Semiconductor
Ko nga mea angiangi kua whakakikoruatia ki te koura e whakamahia nuitia ana i rotoIC tākai, kei hea ratoute kawe hiko, te mauroa o te miihini, atohanga waiarikiKo nga taonga ka tino ponotūhonohonoaherengai roto i nga taputapu semiconductor.
Hangahanga LED
Ka whai wāhi nui nga angiangi whakakikoruatia ki te kouraHangahanga LED, i reira ka whakarei akewhakahaere waiarikiamahi hiko. Ko te paparanga koura e whakarite ana ko te wera i hangaia e nga rama hiko teitei ka marere pai, ka whai waahi ki te roa o te oranga me te pai ake.
Pūrere Optoelectronic
In optoelectronics, Ka whakamahia nga angiangi whakakikorua ki te koura i roto i nga taputapu peneinga kaitirotiro whakaahua, ngongo taiaho, apūoko marama. Ko te whakakikorua koura he tino paite kawe weraapūmautanga hiko, te whakarite kia rite tonu te mahi i roto i nga taputapu e hiahia ana ki te whakahaere tika i nga tohu marama me nga hiko.
Hiko Hiko
He mea nui nga angiangi kua whakakikoruatia ki te kouranga taputapu hiko hiko, he mea tino nui te kaha me te pono. Ko enei angiangi ka mau tonuhurihanga manaatohanga werai roto i nga taputapu peneitransistors manaanga kaiwhakahaere ngaohiko.
Microelectronics me MEMS
In morohikohikoaMEMS (Punaha Hiko-Moroiti), ka whakamahia nga angiangi whakakikoruatia ki te koura hei hanganga waahanga microelectromechanicale hiahia ana kia tino tika me te mauroa. Ko te paparanga koura e mau ana te mahi hiko me tetiaki miihinii roto i nga taputapu microelectronic tairongo.
Pātai Auau (Q&A)
Q1: He aha te whakamahi koura mo te paninga angiangi?
A1:Ka whakamahia te koura mo tonate kawe hiko teitei, parenga waikura, awhakahaere waiarikitaonga. Ka whakaritehononga pono, roa ake te oranga o te taputapu, amahi riteritei roto i nga tono semiconductor.
Q2: He aha nga painga o te whakamahi i nga wafers kua whakakikoruatia ki te koura i roto i nga tono semiconductor?
A2:He angiangi whakakikoruatia ki te kouratino pono, pūmautanga wā roa, apai ake te mahi hiko me te waiariki. Ka whakanui hoki ratouāhuatanga hereme te tiaki kihāoratangaawaikura.
Q3: He aha te matotoru o te paninga koura me whiriwhiri e au mo taku tono?
A3:Ko te matotoru pai ka whakawhirinaki ki to tono motuhake.10nmhe pai mo nga tono tika, ngawari, ahakoa50nmki100nmka whakamahia nga paninga mo nga taputapu hiko teitei ake.500nmKa whakamahia pea mo nga tono taumaha e hiahia ana kia nui ake nga paparanga momauroaatohanga wera.
Q4: Ka taea e koe te whakarite i nga rahi o te wafer?
A4:Ae, kei te waatea nga angiangi ki roto2-inihi, 4-inihi, a6-inihinga rahi paerewa, a ka taea hoki e matou te whakarato i nga rahi ritenga ki te whakatutuki i o whakaritenga motuhake.
Q5: Me pehea te whakakikorua koura ki te whakarei ake i te mahi a te taputapu?
A5:Ka pai ake te kouratohanga waiariki, te kawe hiko, aparenga waikura, ko enei katoa ka whai waahi ki te pai ake me tenga taputapu semiconductor ponome te roa ake o nga wa whakahaere.
Q6: Me pehea te whakapai ake o te kiriata adhesion i te whakakikorua koura?
A6:Ko techromium (Cr)kiriata adhesion whakarite te hononga kaha i waenganui i teapa kourame tetïpako, te aukati i te delamination me te whakarite i te tika o te wafer i te wa e tukatuka ana me te whakamahi.
Whakamutunga
Ko ta matou Koura Whakakikoruatia te Silicon, Sapphire, me te SiC Wafers e tuku ana i nga otinga matatau mo nga tono semiconductor, he pai ake te kawe hiko, te tohanga waiariki, me te aukati waikura. Ko enei wafers he pai mo te kohinga semiconductor, hangahanga LED, optoelectronics, me etahi atu. Ma te koura parakore teitei, te matotoru o te whakakikorua ka taea te whakarite, me te pai o te miihini miihini, ka whakapumau i te pono mo te wa roa me te mahi rite tonu i roto i nga taiao tono.
Hoahoa Taipitopito
