8inihi 200mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N momo Koeke whakaputa 500um te matotoru

Rahi: 8inihi;

Diane: 200mm±0.2;

Matotoru: 500um±25;

Takotoranga Mata: 4 ki te [11-20]±0.5°;

Takotoranga kakari:[1-100]±1°；

Hohonu kakari: 1±0.25mm;

Micropipe: <1cm2;

Papa Hex: Kore e Whakaaetia;

Parenga: 0.015~0.028Ω;

EPD:<8000cm2;

TED:<6000cm2

BPD:<2000cm2

TSD:<1000cm2

SF: rohe<1%

TTV≤15um；

Warp≤40um；

Kopere≤25um；

Nga waahi poly: ≤5%;

Paraka: <5 me te Roa Huinga< 1 Wafer Diameter;

Tipi/Nui: Karekau e whakaaetia D>0.5mm te whanui me te hohonu;

Kapiti: Kore;

Tae: Karekau

Tapa angiangi: Chamfer;

Te mutunga o te mata: Porohia Taarua Taha, Si Kanohi CMP;

Taapiri: Ripene angiangi-maha, Ipu Angiangi Kotahi ranei;

Ko nga uaua o naianei i roto i te whakarite o nga tioata 200mm 4H-SiC mainl

1) Ko te whakarite i nga kiripiri purapura 200mm 4H-SiC teitei;

2) Rahi nui pāmahana mara kore-rite me te mana tukanga nucleation;

3) Te pai o te kawe me te whanaketanga o nga waahanga hau i roto i nga punaha tipu karaihe nui;

4) Ka pakaru te karaihe me te nui o te koha na te nui o te taumahatanga waiariki.

Ki te hinga i enei wero me te whiwhi i nga waferssolutions 200mm SiC kounga teitei e whakaarohia ana:

I runga i te 200mm te whakarite karaehe kakano, te mara rerenga rerenga pāmahana e tika ana, me te whakawhänui i te huihuinga i akohia, i hoahoatia kia whai whakaaro ki te kounga o te karaihe me te rahi o te rahi; Ka timata mai i te 150mm SiC se:d tioata, mahia te whitiwhitinga karaihe kakano ki te whakaroa haere i te SiC crystasize tae noa ki te 200mm; Na roto i te tipu o te karaihe maha me te tukanga, ka arotau haere i te kounga o te karaihe i roto i te rohe whanui o te karaihe, me te whakapai ake i te kounga o nga tioata kakano 200mm.

I runga i te 200mm te karaihe conductive me te takahanga tïpako, kua arotauhia e te rangahau te ahua o te papamahana me te hoahoa parae rere mo te nui o te crystalgrowth rahi, whakahaere 200mm conductive SiC te tipu tioata, me te whakahaere i te riterite doping. I muri i te tukatuka taratara me te hanga o te karaihe, i whiwhihia he ingot 8-inihi hiko 4H-SiC me te diameter paerewa. I muri i te tapahi, te huri, te oro, te tukatuka kia whiwhi SiC 200mm wafers me te matotoru o te 525um neke atu ranei