8Inch 200mm 4H-N SiC Wafer Conductive kōeke rangahau dummy

8Inch 200mm 4H-N SiC Wafer Wafer Conductive kōeke rangahau dummy Whakaahua Whakaatuhia

Whakaahuatanga Poto:

I te wa e tipu haere ana te kawe, te kaha me nga maakete ahumahi, kei te tipu haere tonu te tono mo nga hikohiko hiko pono, tino mahi. Ki te whakatutuki i nga hiahia mo te whakapai ake i te mahi semiconductor, kei te titiro nga kaihanga taputapu ki nga rawa whanui bandgap semiconductor, penei i ta maatau 4H SiC Prime Grade kōpaki o 4H n -type silicon carbide (SiC) wafers.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Na ona ahuatanga motuhake o te tinana me te hikohiko, ka whakamahia te 200mm SiC wafer semiconductor rauemi ki te hanga i nga taputapu hiko teitei, teitei-te wera, te aukati iraruraru, me nga taputapu hiko teitei. 8inihi SiC utu tïpako kei te heke haere i te mea kua piki haere te hangarau me te piki haere o te hiahia. Ko nga whanaketanga hangarau o naianei e arahi ana ki te hanga tauine hanga o nga angiangi SiC 200mm. Ko nga painga nui o nga rauemi semiconductor wafer SiC ki te whakataurite ki nga wafers Si me GaAs: Ko te kaha o te hiko hiko o 4H-SiC i te wa e pakaru ana te horonga he nui atu i te ota o te rahi teitei ake i nga uara e rite ana mo Si me GaAs. Ko tenei ka paheketanga nui i roto i te kaha o te riri Ron. He iti te parenga i runga i te whenua, me te kiato o naianei teitei me te kawe werawera, ka taea te whakamahi i te mate iti rawa mo nga taputapu hiko. Ko te kaha o te waiariki o te SiC ka whakaiti i te aukati wera o te maramara. Ko nga taonga hiko o nga taputapu e pa ana ki nga angiangi SiC he tino pumau i roto i te waa me te pumau o te pāmahana, e whakarite ana i te pono o nga hua. Ko te Silicon carbide he tino atete ki te rauropi pakeke, e kore e whakaheke i nga taonga hiko o te maramara. Ko te teitei o te pāmahana whakahaere o te karaihe (neke atu i te 6000C) ka taea e koe te hanga taputapu tino pono mo nga tikanga mahi kino me nga tono motuhake. I tenei wa, ka taea e matou te tuku i nga wafers iti 200mmSiC me te haere tonu me te whai taonga i roto i te whare putunga.

Whakatakotoranga

Tau	Tūemi	Waeine	Whakaputa	Rangahau	Porekau
1. Tawhā
1.1	polytype	--	4H	4H	4H
1.2	takotoranga mata	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2. Tawhā hiko
2.1	haupapa	--	n-momo Nitrogen	n-momo Nitrogen	n-momo Nitrogen
2.2	parenga	ohm ·cm	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3. Tawhā miihini
3.1	diameter	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	matotoru	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Takotoranga kakari	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Hōhonu Kāniwha	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Kopere	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4. Hanganga
4.1	kiato moroiti	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	ihirangi whakarewa	ngota/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5. Te kounga pai
5.1	mua	--	Si	Si	Si
5.2	mutu mata	--	Si-kanohi CMP	Si-kanohi CMP	Si-kanohi CMP
5.3	matūriki	ea/wafer	≤100(rahi≥0.3μm)	NA	NA
5.4	rakuraku	ea/wafer	≤5, Tapeke Length≤200mm	NA	NA
5.5	Tapa maramara / nuku / kapiti / poke / poke	--	Karekau	Karekau	NA
5.6	Nga waahi polytype	--	Karekau	Horahanga ≤10%	Horahanga ≤30%
5.7	tohu o mua	--	Karekau	Karekau	Karekau
6. Te kounga o muri
6.1	mutu muri	--	C-kanohi MP	C-kanohi MP	C-kanohi MP
6.2	rakuraku	mm	NA	NA	NA
6.3	Te taha taha o muri maramara / nuku	--	Karekau	Karekau	NA
6.4	Te taratara o muri	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Te tohu o muri	--	Kaniwha	Kaniwha	Kaniwha
7. Tapa
7.1	taha	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8. Mōkī
8.1	tākainga	--	Epi-reri me te korehau tākainga	Epi-reri me te korehau tākainga	Epi-reri me te korehau tākainga
8.2	tākainga	--	Maha-wafer tākai rīpene	Maha-wafer tākai rīpene	Maha-wafer tākai rīpene