8 Inihi Lithium Niobate Wafer LiNbO3 LN angiangi
Nga korero taipitopito
| Diamita | 200±0.2mm |
| papatahi nui | 57.5mm, Kaniwha |
| Takotoranga | 128Y-Tapahia, X-Cut, Z-Cut |
| Te matotoru | 0.5±0.025mm, 1.0±0.025mm |
| Mata | DSP me SSP |
| TTV | <5µm |
| KOPI | ± (20µm ~40um ) |
| Warp | <= 20µm ~ 50µm |
| LTV (5mmx5mm) | <1.5 um |
| PLTV(<0.5um) | ≥98% (5mm * 5mm) me te 2mm te taha kua whakakorehia |
| Ra | Ra<=5A |
| Tikina me te Keri (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
| Tapa | Tutaki SEMI M1.2@with GC800#. auau i te momo C |
Nga korero motuhake
Diamita:8 inihi (tata ki te 200mm)
Matotoru: Ko nga matotoru paerewa noa mai i te 0.5mm ki te 1mm. Ko etahi atu matotoru ka taea te whakarite kia rite ki nga whakaritenga motuhake
Te whakatakotoranga karaihe: Ko te waahanga karaihe noa ko te 128Y-tapahi, Z-tap me te X-tapahia te karaihe karaihe, me etahi atu waahanga karaihe ka taea te whakarato i runga i te tono motuhake
Rahi Painga: 8-inihi serrata carp wafers he maha nga painga o te rahi ki runga i nga wafers iti ake:
Te waahi nui ake: Ka whakatauritea ki nga angiangi 6-inihi, 4-inihi ranei, ka nui ake te mata o te angiangi 8-inihi ka taea te whakauru atu i nga taputapu me nga iahiko whakauru, ka piki ake te pai o te whakaputa me te hua.
Kiato teitei ake: Ma te whakamahi i nga wafers 8-inihi, he maha atu nga taputapu me nga waahanga ka taea te mohio ki te waahi kotahi, te whakanui ake i te whakauru me te kiato o nga taputapu, ka piki ake te mahi o te taputapu.
He pai ake te rite: Ko nga wafers nui ake he pai ake te rite ki te mahi whakaputa, ka awhina i te whakaiti i te rereketanga o te mahi hangahanga me te whakapai ake i te pono me te riterite o nga hua.
He rite te diameter o nga angiangi L me te LN 8-inihi ki nga angiangi silicon auraki, he ngawari te here. Ka rite ki te mahi nui "hononga SAW tātari" rauemi e taea te hapai i nga roopu auau teitei.
Hoahoa Taipitopito
