6inihi SiC Epitaxiy angiangi momo N/P whakaae whakaritea
Ko te tukanga whakarite o te wafer epitaxial silicon carbide he tikanga ma te hangarau Chemical Vapor Deposition (CVD).Ko enei e whai ake nei nga maapono hangarau e tika ana me nga mahi whakarite:
Tikanga Hangarau:
Te Kohu Kohu Matū: Ma te whakamahi i te hau rauemi mata i roto i te wahanga hau, i raro i nga tikanga tauhohenga motuhake, ka pirau, ka waiho ki runga i te tïpako hei hanga i te kiriata kikokore e hiahiatia ana.
Te tauhohenga hau-waahanga: Ma te pyrolysis, ka pakaru ranei te tauhohenga, ka huri matū nga momo haurehu mata o te wahanga hau i roto i te ruuma tauhohenga.
Nga mahi whakarite:
Te maimoatanga o te papamuri: Ka tukuna te taputapu ki te horoi o te mata me te maimoatanga o mua ki te whakarite i te kounga me te tioata o te wafer epitaxial.
Te whakakore i te ruuma tauhohenga: whakatikahia te pāmahana, te pehanga me te tere o te rere o te ruma hohenga me etahi atu taapiri hei whakarite i te pumau me te whakahaere i nga tikanga tauhohenga.
Te tuku rauemi mata: tukuna nga rauemi mata hau e hiahiatia ana ki roto i te ruuma tauhohenga, te ranu me te whakahaere i te tere rere ina hiahiatia.
Te tukanga tauhohenga: Ma te whakamahana i te ruuma tauhohenga, ka uru te kai whangai hau ki te tauhohenga matū i roto i te ruma ki te whakaputa i te putunga e hiahiatia ana, ara, te kiriata carbide silicon.
Te whakamatao me te wetewete: I te mutunga o te tauhohenga, ka whakahekea te pāmahana ki te whakamatao me te whakakaha i nga putunga i roto i te ruuma tauhohenga.
Te angiangi angiangi epitaxial me te mahi i muri i te tukatuka: ko te angiangi angiangi epitaxial kua oti te whakahiato me te mahi i muri i te tukatuka hei whakapai ake i ona taonga hiko me te mata.
Ko nga takahanga motuhake me nga tikanga o te tukanga whakarite wafer epitaxial silicon carbide epitaxial ka rereke pea i runga i nga taputapu motuhake me nga whakaritenga.Ko te mea i runga ake nei ko te rere noa o te tukanga me te maapono, ko te mahi motuhake me whakatika me te arotau kia rite ki te ahuatanga.
Hoahoa Taipitopito
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)