6inihi SiC Epitaxiy angiangi momo N/P whakaae whakaritea

6inihi SiC Epitaxiy angiangi momo N/P ka whakaaehia te ahua kua tohua

Whakaahuatanga Poto:

he whakarato 4, 6, 8 inihi silicon carbide epitaxial wafer me nga ratonga hangahanga epitaxial, hanga (600V ~ 3300V) nga taputapu hiko tae atu ki te SBD, JBS, PiN, MOSFET, JFET, BJT, GTO, IGBT me etahi atu.

Ka taea e matou te whakarato 4-inihi me te 6-inihi SiC epitaxial wafers mo te hanga o nga taputapu hiko tae atu ki te SBD JBS PiN MOSFET JFET BJT GTO & IGBT mai i te 600V ki te 3300V

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko te tukanga whakarite o te angiangi epitaxial silicon carbide epitaxial he tikanga ma te hangarau Chemical Vapor Deposition (CVD). Ko enei e whai ake nei nga maapono hangarau e tika ana me nga mahi whakarite:

Tikanga Hangarau:

Te Kohu Kohu Matū: Ma te whakamahi i te hau rauemi mata i roto i te wahanga hau, i raro i nga tikanga tauhohenga motuhake, ka pirau, ka waiho ki runga i te tïpako hei hanga i te kiriata kikokore e hiahiatia ana.

Te tauhohenga hau-waahanga: Ma te pyrolysis, ka pakaru ranei te tauhohenga, ka huri matū nga momo haurehu mata o te wahanga hau i roto i te ruuma tauhohenga.

Nga mahi whakarite:

Te maimoatanga o te papamuri: Ka tukuna te taputapu ki te horoi o te mata me te maimoatanga o mua ki te whakarite i te kounga me te tioata o te wafer epitaxial.

Te whakakore i te ruuma tauhohenga: whakatikahia te pāmahana, te pehanga me te tere o te rere o te ruma hohenga me etahi atu taapiri hei whakarite i te pumau me te whakahaere i nga tikanga tauhohenga.

Te tuku rauemi mata: toha nga rauemi mata hau e hiahiatia ana ki roto i te ruuma tauhohenga, te ranu me te whakahaere i te rerenga rere ina hiahiatia.

Te tukanga tauhohenga: Ma te whakamahana i te ruuma tauhohenga, ka uru te kai whangai hau ki te tauhohenga matū i roto i te ruma ki te whakaputa i te putunga e hiahiatia ana, ara, te kiriata carbide silicon.

Te whakamatao me te wetewete: I te mutunga o te tauhohenga, ka whakahekea te pāmahana ki te whakamatao me te whakakaha i nga putunga i roto i te ruuma tauhohenga.

Te angiangi angiangi epitaxial me te mahi i muri i te tukatuka: ko te angiangi angiangi epitaxial kua oti te whakahiato me te mahi i muri i te tukatuka hei whakapai ake i ona taonga hiko me te whatu.

Ko nga takahanga motuhake me nga tikanga o te tukanga whakarite wafer epitaxial silicon carbide epitaxial ka rereke pea i runga i nga taputapu motuhake me nga whakaritenga. Ko te mea i runga ake nei ko te rere noa o te tukanga me te maapono, ko te mahi motuhake me whakatika me te arotau kia rite ki te ahuatanga.