6inihi 150mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N momo mo te MOS, SBD Production Rangahau ranei me te karaehe Dummy
Nga Apure Tono
Ko te 6-inihi carbide silicon carbide tïpako karaihe kotahi he mahi nui i roto i nga umanga maha. Tuatahi, ka whakamahia nuitia i roto i te ahumahi semiconductor mo te hanga i nga taputapu hiko hiko teitei penei i nga transistors hiko, nga waahanga whakauru, me nga waahanga hiko. Ko te kaha o te waiariki me te aukati i te wera nui ka pai ake te tohanga wera, ka pai ake te pai me te pono. Tuarua, he mea nui nga wafers silicon carbide i roto i nga mara rangahau mo te whanaketanga o nga rawa me nga taputapu hou. I tua atu, ka kitea e te wafer silicon carbide he maha nga tono i roto i te waahanga optoelectronics, tae atu ki te hangahanga o nga rama rama me nga diodes laser.
Whakatakotoranga Hua
Ko te 6-inihi carbide silicon carbide tïpako karaihe kotahi he 6 inihi te diameter (tata ki te 152.4 mm). Ko te taratara o te mata ko Ra <0.5 nm, ko te matotoru 600 ± 25 μm. Ka taea te whakarite i te tïpako me te momo-N, momo-P ranei, i runga i nga whakaritenga a nga kaihoko. I tua atu, ka whakaatuhia e ia te tino pai o te miihini, ka kaha ki te tu atu i te pehanga me te wiri.
Diamita | 150±2.0mm(6inihi) | ||||
Mātotoru | 350 μm±25μm | ||||
Takotoranga | I te tuaka: <0001>±0.5° | Tuaka atu: 4.0° ki te 1120±0.5° | |||
Polytype | 4H | ||||
Ātetenga(Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Te takotoranga papa tuatahi | {10-10}±5.0° | ||||
Roa papatahi tuatahi (mm) | 47.5 mm±2.5 mm | ||||
Tapa | Chamfer | ||||
TTV/Kopere/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM Mua (Si-kanohi) | Poroni Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Te kiri karaka/rua/kapiti/paraparatanga/painga/waahi | Karekau | Karekau | Karekau | ||
nuku | Karekau | Karekau | Karekau |
Ko te 6-inihi silicon carbide tïpako karaihe kotahi he rauemi mahi nui e whakamahia nuitia ana i roto i nga ahumahi hikohiko, rangahau, me te optoelectronics. He pai te kawe i te waiariki, te pumau o te miihini, me te aukati i te pāmahana-nui, e pai ana mo te hanga taputapu hiko teitei me te rangahau rauemi hou. Ka whakaratohia e matou nga momo whakaritenga me nga whiringa whakaritenga hei whakatutuki i nga tono a nga kaihoko.Whakapaa mai ki a maatau mo etahi atu korero mo nga wafers carbide silicon!