6 īnihi Kohikohiko kotahi kiriata SiC i runga i te polycrystalline SiC hiato tïpako Diameter 150mm P momo N momo

6 īnihi Kohikohiko kotahi kiriata SiC i runga i te polycrystalline SiC hiato tïpako Diamita 150mm Momo P momo N Whakaahua Whakaatuhia

Whakaahuatanga Poto:

Ko te SiC monocrystalline 6-inihi kawe i runga i te tïpako hiato polycrystalline SiC e tohu ana i te otinga rauemi hiako carbide (SiC) hou i hangaia mo nga taputapu hiko teitei, teitei-mahana, me nga taputapu hiko. Kei roto i tenei tïpako he paparanga kaha SiC kirikiri kotahi e hono ana ki te turanga SiC polycrystalline na roto i nga tikanga motuhake, te whakakotahi i nga taonga hiko teitei o te monocrystalline SiC me nga painga utu o te polycrystalline SiC.
Ka whakatauritea ki nga taputapu SiC monocrystalline tikanga, ko te SiC monocrystalline conductive 6-inihi i runga i te tïpako hiato polycrystalline SiC e pupuri ana i te nekehanga irahiko teitei me te aukati ngaohiko teitei me te whakaiti i nga utu whakangao. Ko tana rahi angiangi 6-inihi (150 mm) e whakarite ana i te hototahitanga ki nga raina whakangao semiconductor o naianei, e taea ai te mahi whakahiato. I tua atu, ka taea e te hoahoa whakahaere te whakamahi tika ki te hanga taputapu hiko (hei tauira, MOSFET, diodes), te whakakore i te hiahia mo etahi atu tukanga doping me te whakangawari i nga rerenga mahi whakaputa.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Tawhā Hangarau

Rahi:	6 inihi
Diane:	150 mm
Mātotoru:	400-500 μm
Monocrystalline SiC Tawhā Kiriata
momo momo:	4H-SiC ranei 6H-SiC
Kohanga Doping:	1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ cm⁻³
Mātotoru:	5-20 μm
Ātete Rau:	10-1000 Ω/sq
Nekehanga Irahiko:	800-1200 cm²/Vs
Nekehanga Kohanga:	100-300 cm²/Vs
Ngā Tawhā Paparanga Pūrei Polycrystalline SiC
Mātotoru:	50-300 μm
Kawenga Ngawha:	150-300 W/m·K
Monocrystalline SiC Substrate Tawhā
momo momo:	4H-SiC ranei 6H-SiC
Kohanga Doping:	1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ cm⁻³
Mātotoru:	300-500 μm
Rahi witi:	> 1 mm
Riroke Mata:	<0.3 mm RMS
Nga Taonga Hiko me te Hiko
pakeke:	9-10 Mohs
Kaha Kōpeke:	3-4 GPa
Te Kaha Tana:	0.3-0.5 GPa
Te Kaha Apure Wehewehenga:	> 2 MV/cm
Whakaaetanga Inenga Tapeke:	> 10 Mrad
Takahanga Takitahi Atete Paanga:	> 100 MeV·cm²/mg
Kawenga Ngawha:	150-380 W/m·K
Awhe Pawera Mahi:	-55 ki te 600°C

Nga ahuatanga matua

Ko te SiC monocrystalline conductive 6-inihi i runga i te tïpako hiato polycrystalline SiC e whakarato ana i te toenga ahurei o te hanganga rauemi me te mahi, e pai ana mo te tono taiao ahumahi:

1.Utu-Painga: Ko te turanga polycrystalline SiC he tino whakaiti i nga utu ka whakaritea ki te monocrystalline SiC tonu, i te mea ko te paparanga kaha o te monocrystalline SiC e whakarite ana i te mahinga o nga taputapu, he pai mo nga tono-utu.

2.Nga Taonga Hiko Motuhake: Ko te paparanga SiC monocrystalline e whakaatu ana i te nekehanga teitei o te kawe kawe (> 500 cm²/V · s) me te iti o te ngoikoretanga o te koha, e tautoko ana i te tere-tere me te mahi taputapu kaha.

3.High-Temperature Stabilities: Ko te kaha o te kaha o te pawera teitei o te SiC (> 600 ° C) ka whakarite kia mau tonu te taputapu hiato i raro i nga ahuatanga tino nui, e pai ana mo nga waka hiko me nga tono motika ahumahi.

4.6-inihi Rahi Waferi Paerewa: Ka whakaritea ki nga taputapu SiC 4-inihi tuku iho, ko te whakatakotoranga 6-inihi ka piki ake te hua maramara neke atu i te 30%, ka whakaiti i nga utu taputapu mo ia wae.

5.Conductive Hoahoa: Tuhinga o mua N-momo, P-momo paparanga whakaiti kaupae implantation katote i roto i te hanga pūrere, te whakapai ake production tōtika me te tuku.

6.Te Whakahaere Ngaaariki Nui: Ko te whakamaarama wera o te turanga polycrystalline SiC (~ 120 W/m·K) e whakatata atu ana ki tera o te SiC monocrystalline, e pai ana ki te whakatutuki i nga wero tohanga wera i roto i nga taputapu mana-nui.

Ka whakatauhia e enei ahuatanga te SiC monocrystalline 6-inihi kawe i runga i te tïpako hiato polycrystalline SiC hei otinga whakataetae mo nga umanga penei i te kaha whakahou, te kawe tereina, me te mokowhiti.

Nga tono tuatahi

Ko te SiC monocrystalline conductive 6-inihi i runga i te tïpako hiato polycrystalline SiC kua oti pai te hora i roto i te maha o nga mara tono nui:
1.Nga Waka Hiko Hiko: Ka whakamahia i roto i nga MOSFET SiC ngaohiko teitei me nga diodes hei whakarei ake i te pai o te hurihuri me te whakaroa i te awhe pākahiko (hei tauira, Tesla, tauira BYD).

2.Industrial Motor Drives: Whakahohehia nga waahanga hiko teitei-teitei, teitei-whakawhiti-auau, te whakaiti i te whakapau kaha i roto i nga miihini taumaha me nga miihini hau.

3.Photovoltaic Inverters: Ko nga taputapu SiC te whakapai ake i te pai o te huringa o te ra (> 99%), ko te taputapu hiato ka whakaiti ake i nga utu o te punaha.

4.Rail Transportation: Ka whakamahia i roto i nga kaitahuri hikoi mo te tereina tereina me nga punaha tereina, e tuku ana i te ngaohiko teitei (>1700V) me nga ahuatanga ahua kiato.

5.Aerospace: He pai mo nga punaha hiko amiorangi me nga hikoi whakahaere miihini rererangi, he kaha ki te tu atu i te wera nui me te hihi.

I roto i te hanga mahi, ko te SiC monocrystalline conductive 6-inihi i runga i te tïpako hiato polycrystalline SiC he tino hototahi ki nga tikanga taputapu SiC paerewa (hei tauira, lithography, etching), kaore e hiahiatia he moni whakapaipai taapiri.

Ratonga XKH

He tautoko matawhānui a XKH mo te SiC monocrystalline conductive 6-inihi i runga i te tïpako hiato polycrystalline SiC, e hipoki ana i te R&D ki te hanga papatipu:

1.Whakaritenga: Ko te matotoru o te paparanga monocrystalline ka taea te whakarite (5-100 μm), te kukū doping (1e15-1e19 cm⁻³), me te takotoranga karaihe (4H/6H-SiC) ki te whakatutuki i nga whakaritenga taputapu rereke.

2.Wafer Tukatuka: Ko te tuku nui o nga taputapu 6-inihi me nga ratonga whakakikorua o muri me nga ratonga whakarewa mo te whakauru mono-me-takaro.

3.Te Whakamana Hangarau: Kei roto ko te tātaritanga tioata XRD, te whakamatautau i te awe o te Hall, me te inenga waiariki kia tere ake te tohu tohu.

4.Rapid Prototyping: 2- ki te 4-inihi tauira (he tukanga kotahi) mo nga umanga rangahau hei whakatere i nga huringa whanaketanga.

5. Te Taatari Rahua me te Arotautanga: Nga otinga taumata-rauemi mo te tukatuka i nga wero (hei tauira, nga koha o te paparanga epitaxial).

Ko ta matou kaupapa he whakatuu i te SiC monocrystalline 6-inihi kawe i runga i te tïpako hiato polycrystalline SiC hei otinga utu-mahi pai mo te hikohiko hiko SiC, e tuku tautoko mutunga-ki-mutunga mai i te tauira tauira ki te whakaputa rōrahi.

Whakamutunga

Ko te SiC monocrystalline 6-inihi kawe i runga i te tïpako hiato polycrystalline SiC ka tutuki i te taurite pakaru i waenga i te mahinga me te utu na roto i tana hanganga ranu mono/polycrystalline auaha. I te tipu haere o nga waka hiko me te ahu whakamua o te Ahumahi 4.0, ka whakawhiwhia e tenei tïpako he turanga rauemi pono mo nga hikohiko hiko o muri mai. Kei te mihi a XKH ki nga mahi tahi ki te torotoro haere i te kaha o te hangarau SiC.