6 Inihi 4H SEMI Momo SiC tïpako hiato Matotoru 500μm TTV≤5μm kōeke MOS

6 Inihi 4H SEMI Momo SiC tïpako hiato Matotoru 500μm TTV≤5μm Koeke MOS Whakaahua Whakaatu

Whakaahuatanga Poto:

Na te tere haere o nga whakawhitiwhiti korero 5G me te hangarau radar, ko te 6-inihi te 6-inihi-a-te-a-te-a-te-hanga-hanga-hanga-hanga SiC kua noho hei rauemi matua mo te hanga taputapu auau teitei. Ka whakatauritea ki nga taputapu GaAs tuku iho, ka mau tonu tenei taputapu i te parenga teitei (>10⁸ Ω·cm) i te wa e whakapai ake ana te kawe waiariki ma te neke atu i te 5x, e tika ana ki te whakatika i nga wero tohanga wera i roto i nga taputapu ngaru mirimita. Ko nga whakakaha hiko i roto i nga taputapu o ia ra penei i nga waea atamai 5G me nga tauranga whakawhitiwhiti amiorangi ka hangaia ki runga i tenei taputapu. Ma te whakamahi i a maatau hangarau "putunga papaa mo te doping compensation", kua whakaitihia e matou te kiato micropipe ki raro iho i te 0.5/cm², ka eke ki te mate ngaruiti tino iti o te 0.05 dB/mm.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Tawhā Hangarau

Nga taonga	Whakatakotoranga	Nga taonga	Whakatakotoranga
Diamita	150±0.2 mm	Tuhinga o mua (Si-mata) taratara	Ra≤0.2 nm (5μm×5μm)
Polytype	4H	Tipi Tipi, Paraka, Kapiti (tirotiro tirohanga)	Karekau
Te ātete	≥1E8 Ω·cm	TTV	≤5 μm
Paparanga Whakawhiti Matotoru	≥0.4 μm	Warp	≤35 μm
Mua (2mm>D>0.5mm)	≤5 ea/Wafer	Mātotoru	500±25 μm

Nga waahanga matua

1. Tino Mahinga Rawa-Teitei
Ko te 6-inihi tapawha-insulating SiC tïpako hiato e whakamahi ana i te hoahoa paparanga dielectric kua tohua, e whakarite ana i te rereketanga o te dielectric o <2% i roto i te Ka-band (26.5-40 GHz) me te whakapai ake i te riterite o te wahanga ma te 40%. 15% te piki ake o te kaha me te 20% te iti o te whakapau hiko i roto i nga waahanga T/R ma te whakamahi i tenei taputapu.

2. Te Whakahaere Ngaaariki Breakthrough
He hangahanga hiato "piriti waiariki" ahurei e taea ai te kawe waiariki taha ki te 400 W/m·K. I roto i nga waahanga PA teihana turanga 28 GHz 5G, ka piki ake te pāmahana hononga ma te 28°C anake i muri i nga haora 24 o te mahi tonu—50°C he iti ake i nga rongoatanga tikanga.

3. Kounga Wafer Superior
Na roto i te tikanga Whakapai Kohu Kohu Tiana (PVT), ka tutuki te kiato wehenga <500/cm² me te Rerekēnga Matotoru Tapeke (TTV) <3 μm.
4. Tukatuka Hanganga-hoa
Ko ta matou tukanga whakaene taiaho i tino whakawhanakehia mo te 6-inihi tapawha-waitara SiC tïpako hiato ka whakaiti i te kiato o te mata ma te rua ota nui i mua i te epitaxy.

Nga Tono Matua

1. 5G Base Station Core Wahanga
I roto i nga raupapa antenna MIMO Nui, ko nga taputapu GaN HEMT i runga i nga taputapu hiato SiC 6-inihi, ka eke ki te 200W te mana whakaputa me te >65% te pai. Ko nga whakamatautau mara i te 3.5 GHz i whakaatu he 30% te pikinga o te radius kapinga.

2. Pūnaha Whakawhitiwhiti Whakawhitiwhiti
Ko nga kaiwhakawhitiwhiti orbit-Earth orbit (LEO) e whakamahi ana i tenei taputapu e whakaatu ana i te 8 dB teitei ake o te EIRP i roto i te roopu-Q (40 GHz) me te whakaheke i te taumaha ma te 40%. Kua tangohia e nga waahi o SpaceX Starlink mo te hanga papatipu.

3. Military Radar Systems
Ko nga kōwae T/R radar-array i runga i tenei tïpako ka eke ki te 6-18 GHz bandwidth me te ahua haruru he iti iho i te 1.2 dB, ka toro atu te awhe rapunga ma te 50 kiromita i roto i nga punaha radar whakatupato moata.

4. Mirimita-Ngaru Radar Automotive
Ko nga maramara radar miihini 79 GHz e whakamahi ana i tenei taputapu ka pai ake te whakatau koki ki te 0.5 °, ka tutuki nga whakaritenga taraiwa motuhake a L4.

Ka whakaekea e matou he otinga ratonga kua oti te whakarite mo te 6-inihi-a-wha-insulating nga taputapu hiato SiC. Mo te whakarite i nga tawhā rawa, ka tautokohia e matou te tikanga tika o te parenga i roto i te awhe o te 10⁶-10¹⁰ Ω·cm. Ina koa mo nga tono hoia, ka taea e taatau te tuku i te whiringa aukati ultra-tiketike> 10⁹ Ω · cm. E toru nga waahanga matotoru o te 200μm, 350μm me te 500μm i te wa kotahi, me te manawanui e tino whakahaerehia ana i roto i te ± 10μm, te whakatutuki i nga whakaritenga rereke mai i nga taputapu auau-nui ki nga tono mana nui.

Mo nga tukanga maimoatanga mata, ka tukuna e matou etahi otinga ngaio e rua: Ka taea e te Chemical Mechanical Polishing (CMP) te whakatutuki i te papa o te taumata ngota me te Ra<0.15nm, te whakatutuki i nga whakaritenga tipu epitaxial tino nui; Ko te hangarau maimoatanga mata rite epitaxial mo nga tono whakangao tere ka taea te whakarato i nga mata ultra-maeneene me te Sq<0.3nm me te toenga o te waikura matotoru <1nm, ka tino whakamaarama i te tukanga pretreatment i te mutunga o te kiritaki.

Ka whakarato a XKH i nga otinga kua oti te whakarite mo te 6-inihi 6-inihi-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-te-a-hanga SiC tïpako hiato

1. Whakaritenga Tawhā Rauemi
Ka whakaekea e matou te whakakoi i te parenga i roto i te awhe o te 10⁶-10¹⁰ Ω·cm, me nga whiringa parenga tino teitei >10⁹ Ω·cm e waatea ana mo nga tono hoia/aerospace.

2. Whakatakotoranga Matotoru
E toru nga whiringa matotoru paerewa:

· 200μm (whakapaipaitia mo nga taputapu auau teitei)

· 350μm (whakaritenga paerewa)

· 500μm (i hangaia mo nga tono kaha-nui)
· Ko nga momo rereke katoa kei te pupuri i nga herenga matotoru o te ± 10μm.

3. Hangarau Maimoatanga Mata

Matū Miihini Whakakotahi (CMP): Ka tutuki te papatahi o te mata taumata ngota me te Ra<0.15nm, ka tutuki nga whakaritenga whakatipu epitaxial kaha mo te RF me nga taputapu hiko.

4. Tukatuka Mata Kua Riri-Epi

· Ka tuku i nga mata tino maeneene me te Sq<0.3nm taratara

· Ka whakahaere i te matotoru waikura taketake ki te <1nm

· Ka whakakorehia ki te 3 nga mahi i mua i te tukatuka i nga waahi o nga kaihoko