6 i roto i te Silicon Carbide 4H-SiC Semi-Insulating Ingot, Dummy Grade

Whakaahuatanga Poto:

Ko te Silicon Carbide (SiC) kei te huri i te ahumahi hiko, ina koa i roto i nga tono kaha-nui, teitei-auau, me te whakamaarama iraruke. Ko te 6-inihi 4H-SiC semi-insulating ingot, e tapaea ana i roto i te karaehe tangihanga, he mea tino nui mo te tauira tauira, rangahau, me nga tikanga whakatikatika. Ma te whanui whanui, te pai o te kawe waiariki, me te pakari o te miihini, ka mahi tenei ingot hei whiringa utu-utu mo te whakamatautau me te arotautanga o nga mahi me te kore e whakararu i te kounga taketake e hiahiatia ana mo te whanaketanga matatau. Ka whakatutukihia e tenei hua nga momo tono, tae atu ki te hikohiko hiko, nga taputapu reo irirangi (RF), me te optoelectronics, ka waiho hei taputapu utu nui mo nga umanga me nga umanga rangahau.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Āhuatanga

1. Nga Ahuatanga Tinana me te Hanganga
●Momo Rawa: Silicon Carbide (SiC)
●Polytype: 4H-SiC, hanganga karaihe hexagonal
●Diamita: 6 inihi (150 mm)
●Te Matotoru: Ka taea te whirihora (5-15 mm te tikanga mo te karaehe tangi)
●Takanga Kiriata:
oTuatahi: [0001] (C-rererangi)
oKo nga whiringa tuarua: tuaka-waho 4° mo te tipu epitaxial papaitia
●Tuhinga Papatahi Tuatahi: (10-10) ± 5°
●Tuhinga Papatahi Tuarua: 90° te taha karaka mai i te papa tuatahi ± 5°

2. Nga Taonga Hiko
●Atete:
oSemi-insulating (>106^66 Ω·cm), he pai mo te whakaiti i te kaha o te parapara.
●Momo Doping:
oPouhia ana i te pohehe, ka hua te kaha o te aukati hiko me te pumau i raro i te whānuitanga o nga tikanga whakahaere.

3. Ngaa Waiariki
●Whakaahua Ngaaariki: 3.5-4.9 W/cm·K, ka taea te tohanga wera whai hua i roto i nga punaha mana teitei.
●Ko te Whakanuia Ngaaariki: 4.2×10−64.2 \times 10^{-6}4.2×10−6/K, te whakarite i te pumau o te ahu i te wa e tukatuka ana i te pāmahana teitei.

4. Nga Tikanga Matapihi
●Taewaewae: Te aputa whanui o te 3.26 eV, ka taea te mahi i raro i nga ngaohiko teitei me te mahana.
●Maata: Te maarama teitei ki te UV me nga roangaru kitea, he pai mo te whakamatautau optoelectronic.

5. Tikanga Miihini
●Maama: Mohs tauine 9, tuarua anake ki taimana, whakarite mauroa i roto i te tukatuka.
● Kiato Koha:
oWhakahaerehia mo te iti o nga hapa tonotono, me te whakarite kia tika te kounga mo nga tono karaehe.
●Paatahi: He rite me nga rereke

Tawhā	Nga korero	Waeine
Kōeke	Kōeke Dummy
Diamita	150.0 ± 0.5	mm
Takotoranga Wafer	I runga-tuaka: <0001> ± 0.5°	tohu
Te Atete Hiko	> 1E5	Ω·cm
Kaupapa Papatahi Tuatahi	{10-10} ± 5.0°	tohu
Te Roa Papatahi Tuatahi	Kaniwha
Nga Kapiti (Tirotiro Maama Kaha-Tirohanga)	<3 mm i roto i te radial	mm
Nga Pereti Hex (Tirotiro Maama Kaha-Tirohanga)	Horahanga whakahiato ≤ 5%	%
Nga Waahanga Polytype (Tirotiro Maama Kaha-Tirohanga)	Horahanga whakahiato ≤ 10%	%
Kiatotanga Micropipe	<50	cm−2^-2−2
Tapatapahi Tapa	3 whakaaetia, ia ≤ 3 mm	mm
Tuhipoka	Ko te matotoru angiangi tapahi <1 mm, > 70% (kaore nga pito e rua) ka tutuki nga whakaritenga o runga ake nei

Nga tono

1. Te Whakatauira me te Rangahau
Ko te karaehe 6-inihi 4H-SiC ingot he rauemi pai mo te tauira tauira me te rangahau, ka taea e nga kaihanga me nga taiwhanga te:
●Whakamātauria ngā tawhā tukanga i roto i te Weenga Kohu Matū (CVD) me te Whakaaetanga Kohu Kohu Tinana (PVD).
●Whakawhanakehia me te whakamahine i nga tikanga tarai, whakakoi me te angiangi.
●Tirotiro i nga hoahoa taputapu hou i mua i te whakawhiti ki te papanga-whakaputa.

2. Pūrere Whakatau me te Whakamatau
Ko nga ahuatanga o te ahua-iti ka whai hua tenei ingot mo:
●Te arotake me te whakataurite i nga ahuatanga hiko o nga taputapu hiko teitei me te hiko teitei.
●Ko te whakatauira i nga tikanga whakahaere mo nga MOSFET, IGBT, nga diodes ranei i nga taiao whakamatautau.
●Te mahi hei whakakapinga utu utu mo nga taputapu parakore teitei i te wa o te whanaketanga o te timatanga.

3. Hiko Hiko
Ko te kaha o te waiariki me nga ahuatanga whanui o te 4H-SiC ka taea te mahi pai i roto i nga hiko hiko, tae atu ki:
●Ngaohiko hiko teitei.
●Nga waka hiko (EV) hurihuri.
●Pūnaha pūngao whakahōu, pērā i te hurihanga rā me te pūhiko hau.

4. Nga Tono Reo Irirangi (RF).
Ko te iti o te ngaronga dielectric a 4H-SiC me te neke hiko teitei e tika ana mo:
●Nga whakakaha RF me nga transistors i roto i nga hanganga korero.
●Ko nga punaha radar teitei mo te mokowhiti rererangi me nga tono whakamarumaru.
●Wahanga whatunga ahokore mo nga hangarau 5G ka puta ake.

5. Pūrere Ātete iraruke
Na te kaha o tana atete ki nga kohatanga iraruraru, he mea pai te 4H-SiC haurua mo:
●Nga taputapu torotoro mokowhiti, tae atu ki nga hikohiko amiorangi me nga punaha hiko.
●Radiation-pakeke hikohiko mo te aroturuki karihi me te whakahaere.
●Ko nga tono tiaki e hiahia ana kia pakari i roto i nga taiao tino kino.

6. Optoelectronics
Ko te maramatanga whatu me te whanui whanui o te 4H-SiC ka taea te whakamahi ki:
●UV photodetectors me teitei-kaha LED.
●Whakamātautau paninga whatu me maimoatanga mata.
●Te whakatauira i nga waahanga whatu mo nga pūoko matatau.

Nga Painga o te Mahinga Whakanui-Tara

Utu Putanga:
Ko te karaehe mokowhiti he utu utu nui ake ki te rangahau, ki nga rauemi reanga whakangao ranei, he pai mo te whakamatautau me te whakamahine i nga mahi.

Whakariteritenga:
Ko nga rahi ka taea te whirihora me nga whakatakotoranga karaihe hei whakarite i te hototahi ki te whānuitanga o nga tono.

Tauineine:
Ko te diameter 6-inihi e hono ana ki nga paerewa ahumahi, e tuku ana i te tauine korekore ki nga mahi whakangao.

Te pakari:
Ko te kaha o te miihini me te pumau o te waiariki ka mau tonu te ingot me te pono i raro i nga momo ahuatanga whakamatautau.

Raukaha:
He pai mo nga umanga maha, mai i nga punaha hiko ki te whakawhitiwhiti korero me te optoelectronics.

Whakamutunga

Ko te 6-inihi Silicon Carbide (4H-SiC) te ingot ahua-waitara, te karaehe mokowhiti, e tuku ana i te turanga pono me te mohio mo te rangahau, te tauira, me te whakamatautau i nga waahanga hangarau hou. Ko ona taonga wera, hiko, me te miihini, me te utu utu me te whakaritenga, ka waiho hei rauemi tino nui mo te whare wananga me te umanga. Mai i te hikohiko hiko ki nga punaha RF me nga taputapu whakamaroke iraruraru, ka tautokohia e tenei ingot nga mahi auaha i ia waahanga whanaketanga.
Mo nga korero taipitopito, ki te tono korero ranei, tena koa whakapiri mai ki a maatau. Kei te reri to taatau roopu hangarau ki te awhina i nga otinga kua whakaritea hei whakatutuki i o hiahia.