50.8mm 2inihi GaN i runga i te sapphire Epi-apa angiangi
Te tono o te pepa epitaxial gallium nitride GaN
I runga i te mahinga o te gallium nitride, ko nga maramara epitaxial gallium nitride e tino pai ana mo te kaha nui, te auau teitei, me nga tono ngaohiko iti.
Ka whakaatuhia ki:
1) Te waahi teitei: Ko te waahi teitei te whakapai ake i te taumata ngaohiko o nga taputapu gallium nitride ka taea te whakaputa i te mana teitei ake i nga taputapu gallium arsenide, he mea tino pai mo nga teihana turanga korero 5G, radar hoia me etahi atu mara;
2) Te kaha o te hurihanga teitei: ko te kaha o te gallium nitride huri i nga taputapu hiko ko te 3 ota o te nui te iti ake i tera o nga taputapu silicon, ka taea te whakaiti i te ngaro o te whakawhiti;
3) Ko te kaha o te waiariki teitei: ko te kaha o te waiariki o te gallium nitride he pai te mahi o te wera wera, he pai mo te hanga o te mana teitei, te wera nui me etahi atu waahanga o nga taputapu;
4) Ka pakaru te kaha o te mara hiko: Ahakoa ko te kaha o te waahi hiko o te gallium nitride he tata ki tera o te nitride silicon, na te tukanga semiconductor, te koretake o te papanga me etahi atu mea, ko te ngaohiko ngaohiko o nga taputapu gallium nitride ko te nuinga o te 1000V, me te Ko te ngaohiko whakamahi haumaru kei raro iho i te 650V.
Tūemi | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
Ahu | e 50.8mm ± 0.1mm | ||
Te matotoru | 4.5±0.5 um | 4.5±0.5um | |
Takotoranga | Rererangi-C(0001) ±0.5° | ||
Momo Whakahaere | Momo-N (Karekau) | Momo-N (Si-doped) | Momo-P (Mg-doped) |
Parenga (3O0K) | <0.5 Q・cm | <0.05 Q・cm | ~ 10 Q・cm |
Te Kaikawe Kawe | <5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 | > 6x1016 cm-3 |
Te nekeneke | ~ 300 cm2/Vs | ~ 200 cm2/Vs | ~ 10 cm2/Vs |
Te Tototanga Wehenga | Iti iho i te 5x108cm-2(kua tatauhia e nga FWHM o XRD) | ||
Te hanganga papa | GaN i runga i te Sapphire(Paerewa: Kōwhiringa SSP: DSP) | ||
Horahanga Mata Ka taea te whakamahi | > 90% | ||
Mōkī | Ka mau ki roto i te akomanga 100 te taiao ruma ma, i roto i nga rīpene 25pcs, ipu angiangi kotahi ranei, i raro i te hau hauota. |
* Ka taea te whakarite etahi atu matotoru