3inihi Tino parakore Semi-Insulating （HPSI）SiC wafer 350um Dummy grade Koeke Pirimia
Taupānga
He mea nui nga wafers HPSI SiC ki te whakaahei i nga taputapu hiko o muri mai, e whakamahia ana i roto i nga momo tono mahi teitei:
Nga Pūnaha Whakahuri Hiko: Ko nga wafers SiC te mea matua mo nga taputapu hiko penei i nga MOSFET hiko, nga diodes, me nga IGBT, he mea tino nui mo te huri hiko pai i roto i nga waahanga hiko. Ko enei waahanga ka kitea i roto i nga taputapu hiko teitei, nga taraiwa motuka, me nga hurihuri ahumahi.
Nga Waka Hiko (EV):Ko te piki haere o te hiahia mo nga waka hiko e tika ana kia kaha ake te whakamahi i nga hiko hiko, a ko nga wafers SiC kei mua i tenei huringa. I roto i nga hiko hiko EV, ko enei wafers e whakarato ana i te kaha nui me te kaha o te whakawhiti tere, e whai hua ana ki te tere ake te utu, te awhe roa, me te whakarei ake i nga mahi waka katoa.
Pūngao Whakahōu:I roto i nga punaha hiko hou penei i te hiko o te ra me te hau, ka whakamahia nga angiangi SiC i roto i nga hurihanga me nga kaitahuri e taea ai te hopu hiko me te tohatoha. Ko te kaha o te waiariki me te ngaohiko pakaru o te SiC ka whakarite kia pai te whakahaere o enei punaha, ahakoa i raro i nga ahuatanga o te taiao.
Hangarau Ahumahi me nga Karetao:Ko te hikohiko hiko tino mahi i roto i nga punaha aunoatanga ahumahi me nga karetao e hiahia ana ki nga taputapu ka taea te huri tere, te whakahaere i nga kawenga hiko nui, me te mahi i raro i te ahotea nui. Ko nga Semiconductors-a-SiC e tutuki ana i enei whakaritenga ma te whakarato i te kaha ake me te pakari, ahakoa i roto i nga taiao whakahaere kino.
Pūnaha Whakawhitiwhiti:I roto i nga hanganga waea, he mea tino nui te pono me te kaha o te hurihanga kaha, ka whakamahia nga wafers SiC ki nga taputapu hiko me nga kaitahuri DC-DC. Ka awhina nga taputapu SiC ki te whakaiti i te whakapau kaha me te whakarei ake i nga mahi a te punaha i roto i nga pokapū raraunga me nga whatunga whakawhitiwhiti.
Ma te whakarato i te turanga pakari mo nga tono kaha-nui, ka taea e te HPSI SiC wafer te whanaketanga o nga taputapu kaha-kaha, e awhina ana i nga ahumahi ki te whakawhiti ki nga otinga kaakaariki, ake ake.
Āhuatanga
| operty | Koeke Whakaputa | Koeke Rangahau | Kōeke Dummy |
| Diamita | 75.0 mm ± 0.5 mm | 75.0 mm ± 0.5 mm | 75.0 mm ± 0.5 mm |
| Te matotoru | 350 µm ± 25 µm | 350 µm ± 25 µm | 350 µm ± 25 µm |
| Takotoranga Wafer | I te tuaka: <0001> ± 0.5° | I te tuaka: <0001> ± 2.0° | I te tuaka: <0001> ± 2.0° |
| Kiatotanga Micropipe mo te 95% o nga Wafers (MPD) | ≤ 1 cm⁻² | ≤ 5 cm⁻² | ≤ 15 cm⁻² |
| Te Atete Hiko | ≥ 1E7 Ω·cm | ≥ 1E6 Ω·cm | ≥ 1E5 Ω·cm |
| Dopant | Kua wetekina | Kua wetekina | Kua wetekina |
| Kaupapa Papatahi Tuatahi | {11-20} ± 5.0° | {11-20} ± 5.0° | {11-20} ± 5.0° |
| Te Roa Papatahi Tuatahi | 32.5 mm ± 3.0 mm | 32.5 mm ± 3.0 mm | 32.5 mm ± 3.0 mm |
| Te Roa Papatahi Tuarua | 18.0 mm ± 2.0 mm | 18.0 mm ± 2.0 mm | 18.0 mm ± 2.0 mm |
| Takotoranga Papatahi Tuarua | Si anga ki runga: 90° CW mai i te papa tuatahi ± 5.0° | Si anga ki runga: 90° CW mai i te papa tuatahi ± 5.0° | Si anga ki runga: 90° CW mai i te papa tuatahi ± 5.0° |
| Whakakorenga Tapa | 3 mm | 3 mm | 3 mm |
| LTV/TTV/Kopere/Warp | 3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm | 3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm | 5 µm / 15 µm / ±40 µm / 45 µm |
| Riroke Mata | C-kanohi: Orohia, Si-kanohi: CMP | C-kanohi: Orohia, Si-kanohi: CMP | C-kanohi: Orohia, Si-kanohi: CMP |
| Kapiti (kua tirotirohia e te rama kaha teitei) | Karekau | Karekau | Karekau |
| Nga Pereti Hex (kua tirotirohia e te rama tino kaha) | Karekau | Karekau | Horahanga whakahiato 10% |
| Nga Waahi Polytype (kua tirotirohia e te rama kaha teitei) | Horahanga whakahiato 5% | Horahanga whakahiato 5% | Horahanga whakahiato 10% |
| Nga karawarawa (kua tirotirohia e te rama tino kaha) | ≤ 5 karawarawa, te roa whakaemi ≤ 150 mm | ≤ 10 karawarawa, te roa whakaemi ≤ 200 mm | ≤ 10 karawarawa, te roa whakaemi ≤ 200 mm |
| Tapatapahi Tapa | Kore e whakaaetia kia ≥ 0.5 mm te whanui me te hohonu | 2 whakaaetia, ≤ 1 mm te whanui me te hohonu | 5 whakaaetia, ≤ 5 mm te whanui me te hohonu |
| Parahanga Mata (tirohia e te rama kaha teitei) | Karekau | Karekau | Karekau |
Nga Painga Matua
Mahinga Weahanga Kairangi: Ma te kaha o te kawe werawera a SiC e pai ai te toreretanga o te wera i roto i nga taputapu hiko, ka taea e raatau te mahi i nga taumata hiko teitei ake me nga iarere me te kore e wera. Ka whakamaoritia tenei ki nga punaha iti ake, pai ake me te roa o te oranga whakahaere.
Ngaohiko Whakamutua Teitei: Ma te whanui atu o te waahi ka whakatauritea ki te silicon, ka tautoko nga wafers SiC i nga tono ngaohiko teitei, e pai ana mo nga waahanga hiko hiko e hiahia ana ki te tu atu i nga ngaohiko pakaru teitei, penei i nga waka hiko, nga punaha hiko hiko, me nga punaha hiko whakahou.
Te Ngaronga Mana Whakaiti: Ko te iti o te aukati me te tere o te huri tere o nga taputapu SiC ka iti ake te ngaro o te kaha i te wa e mahi ana. Ehara tenei i te whakapai ake i te pai engari ka whakanui ano hoki i te penapena hiko o nga punaha e whakamahia ana.
Whakanuia te Tiakitanga i roto i nga Taiao Harsh: Ko nga taonga taonga pakari a SiC ka taea e ia te mahi i roto i nga ahuatanga tino nui, penei i te teitei o te pāmahana (tae atu ki te 600°C), ngaohiko teitei, me nga iarere teitei. Ma tenei ka pai nga angiangi SiC mo te tono ahumahi, miihini, me nga tono hiko.
Te Puai Pungao: Ko nga taputapu SiC e tuku ana i te kiato mana teitei ake i nga taputapu-a-kirika tuku iho, ka whakaheke i te rahi me te taumaha o nga punaha hiko hiko i te wa e whakapai ake ana i to raatau mahi. Ko tenei ka arahi ki te penapena utu me te iti ake o te tapuwae taiao i roto i nga tono penei i te kaha whakahou me nga waka hiko.
Whakanuia: Ko te 3-inihi te whanui me te hangai tika o te wafer HPSI SiC e whakarite ana ka taea te tauine mo te hanga papatipu, ka tutuki nga whakaritenga rangahau me nga whakaritenga hanga arumoni.
Whakamutunga
Ko te wafer HPSI SiC, me te 3-inihi te whanui me te 350 µm ± 25 µm te matotoru, ko te rauemi tino pai mo te whakatipuranga o muri mai o nga taputapu hiko hiko teitei. Ko tana whakakotahitanga ahurei o te kawe waiariki, te ngaohiko pakaru teitei, te iti o te ngaronga o te hiko, me te pono i raro i nga ahuatanga tino nui ka waiho hei waahanga nui mo nga momo tono mo te huri hiko, te kaha whakahou, nga waka hiko, nga punaha ahumahi, me nga waea.
Ko tenei wafer SiC e tino pai ana mo nga ahumahi e whai ana ki te whakatutuki i te kaha ake, te penapena kaha ake, me te pai ake o te pono o te punaha. I te mea kei te whanake haere tonu te hangarau hikohiko hiko, ko te angiangi HPSI SiC te turanga mo te whanaketanga o nga reanga e whai ake nei, nga otinga kaha-kaha, e akiaki ana i te whakawhiti ki te tauwhiro, iti-waro kei te heke mai.
Hoahoa Taipitopito
