2 inihi 4 inihi 6 inihi Tauira Sapphire Substrate (PSS) i runga i te tipu GaN ka taea te whakamahi mo te rama rama.

Whakaahuatanga Poto:

Ko te tauira tauira sapphire substrate (PSS) he kopare mo te tarai maroke i runga i te papaha hapira, ka whakairohia te kopare ki te tauira ma te tukanga lithography paerewa, katahi ka taraihia te sapphire e te hangarau etching ICP, ka tangohia te kopare, ka mutu ka tipuhia nga taonga GaN ki runga, kia noho ai te epitaxy roa o te rauemi Gapitaxy whakapae. Kei roto i tenei tukanga he maha nga waahanga penei i te paninga photoresist, te whakaaturanga hikoi, te whakawhanake i te tauira whakaaturanga, te whakamaroke ICP me te horoi.


Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko nga ahuatanga matua

1. Ngā āhuatanga hanganga:
Ko te mata o te PSS he koeko nati, he tauira koeko tapatoru ranei tona ahua, te rahi me te tohatoha ka taea te whakahaere ma te whakatika i nga tawhā o te tukanga tarai.
Ko enei hanganga whakairoiro ka awhina i te whakarereke i te ara whakatö o te marama me te whakaiti i te katoa o te whakaata o te marama, na reira ka pai ake te pai o te tangohanga marama.

2. āhuatanga rauemi:
Ka whakamahia e te PSS te sapphire-kounga teitei hei rauemi tïpako, kei a ia nga ahuatanga o te pakeke teitei, te kaha o te waiariki, te pai o te matū me te maamaa.
Ko enei ahuatanga ka taea e te PSS te tu ki nga taiao kino penei i te teitei o te mahana me te pehanga i te wa e mau tonu ana te mahi whatu pai.

3. Mahinga Optical:
Ma te huri i te marara maha i te atanga i waenga i te GaN me te tïpako hapira, ka whai waahi te PSS ki nga whakaahua e whakaata katoa ana i roto i te paparanga GaN ki te mawhiti mai i te tïpako hapira.
Ko tenei ahuatanga ka tino whakapai ake i te kaha tangohanga marama o te LED me te whakanui i te kaha o te rama o te LED.

4. Tukatuka āhuatanga:
He tino uaua te mahi hangahanga o te PSS, he maha nga waahanga penei i te lithography me te tarai, me te hiahia taputapu tino tika me te mana whakahaere.
Heoi, na te ahu whakamua tonu o te hangarau me te whakahekenga o nga utu, ka pai haere te mahi hangahanga o te PSS me te pai ake.

Te painga matua

1.Whakapai ake i te kaha o te tangohanga marama: Ko te PSS te whakapai ake i te kaha o te tangohanga marama o te LED ma te huri i te huarahi whakatö marama me te whakaiti i te whakaata katoa.

2.Prolong LED ora: Ka taea e PSS te whakaiti i te kiato dislocation o GaN rauemi epitaxial, reira whakaiti i te recombination kore-radiative me te nāianei leakage whakamuri i roto i te rohe kaha, te whakawhānui i te ora o LED.

3.Whakapaihia te kanapa o te LED: Na te pai ake o te tangohanga marama me te toronga o te oranga o te LED, ka tino whakanuihia te kaha o te rama rama i runga i te PSS.

4.Whakaitihia nga utu whakaputa: Ahakoa he uaua te mahi hangahanga o te PSS, ka taea e ia te whakapai ake i te pai o te rama me te oranga o te LED, na reira ka whakaiti i nga utu whakaputa ki tetahi waahanga me te whakapai ake i te whakataetae o te hua.

Nga waahanga tono matua

1. rama arahina: PSS rite te rauemi tïpako mō maramara arahina, Ka taea e tino whakapai ake i te kakama marama me te ora o LED.
I roto i te mara o te rama LED, he nui te whakamahi a PSS i roto i nga momo rama rama, penei i nga rama huarahi, rama tepu, rama motuka me etahi atu.

Nga taputapu 2.Semicconductor: I tua atu i te rama rama, ka taea hoki te whakamahi i te PSS ki te hanga i etahi atu taputapu semiconductor, penei i nga rama rama, lasers, me etahi atu He maha nga waahanga o enei taputapu i roto i te whakawhitiwhiti korero, te hauora, te hoia me etahi atu mara.

3.Optoelectronic integration: Ko nga ahuatanga matapihi me te pumau o te PSS ka waiho hei tetahi o nga mea tino pai i roto i te waahi o te whakauru optoelectronic.I roto i te whakauru optoelectronic, ka taea te whakamahi i te PSS ki te hanga i nga kaiarai ngaru, nga whakawhiti matapihi me etahi atu waahanga ki te mohio ki te tuku me te tukatuka o nga tohu tohu.

Tawhā Hangarau

Tūemi Raupapa Hapaira Tauira(2~6inihi)
Diamita 50.8 ± 0.1 mm 100.0 ± 0.2 mm 150.0 ± 0.3 mm
Mātotoru 430 ± 25μm 650 ± 25μm 1000 ± 25μm
Takotoranga Mata Rererangi-C (0001) koki-waho ki te tuaka-M (10-10) 0.2 ± 0.1°
Rererangi-C (0001) koki atu ki te tuaka-A (11-20) 0 ± 0.1°
Kaupapa Papatahi Tuatahi A-Rererangi (11-20) ± 1.0°
Te Roa Papatahi Tuatahi 16.0 ± 1.0 mm 30.0 ± 1.0 mm 47.5 ± 2.0 mm
Rererangi-R 9-karaka
Whakaoti Mata o Mua Tauira
Whakaoti Mata Whakamuri SSP:Papa pai,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-poarihia, Ra<0.3nm
Tohu Taiaho Te taha ki muri
TTV ≤8μm ≤10μm ≤20μm
KOPI ≤10μm ≤15μm ≤25μm
WARP ≤12μm ≤20μm ≤30μm
Whakakorenga Tapa ≤2 mm
Tauira Tauira Hangahanga Hanga Dome, Koe, Tara
Tauira Teitei 1.6~1.8μm
Tauira Diamita 2.75~2.85μm
Mokowā Tauira 0.1~0.3μm

Ka arotahi a XKH ki te whakawhanaketanga, ki te whakaputa me te hoko o te tauira sapphire substrate (PSS), me te whakapau kaha ki te whakarato i nga hua PSS tino pai, tino mahi ki nga kaihoko huri noa i te ao. Ko te XKH he hangarau hangahanga matatau me te roopu hangarau ngaio, ka taea te whakarite i nga hua PSS me nga waahanga rereke me nga hanganga tauira rereke e ai ki nga hiahia o nga kaihoko. I te wa ano, ka aro a XKH ki te kounga o te hua me te kounga o te ratonga, me te kaha ki te whakarato i nga kaihoko ki te katoa o te tautoko hangarau me nga otinga. I roto i te mara o PSS, kua whakaemihia e XKH nga wheako me nga painga, me te tumanako ki te mahi tahi me nga hoa o te ao ki te whakatairanga tahi i te whanaketanga auaha o te rama rama, nga taputapu semiconductor me etahi atu ahumahi.

Hoahoa Taipitopito

Raupapa Hapaira Tauira (PSS) 6
Raupapa Hapaira Tauira (PSS) 5
Raupapa Hapaira Tauira (PSS) 4

  • Tōmua:
  • Panuku:

  • Tuhia to korero ki konei ka tukuna mai ki a matou