12 inihi SiC Substrate N Momo Rahi Rahi Nui Mahinga RF Tono

Whakaahuatanga Poto:

Ko te tïpako SiC 12-inihi e tohu ana i te anga whakamua i roto i nga hangarau hangarau semiconductor, e tuku painga ana mo te hikohiko hiko me nga tono auau teitei. I te mea ko te whakatakotoranga wafer silicon carbide wafer nui rawa atu o te umanga, ka taea e te tïpako SiC 12-inihi te ohanga o mua i te wa e mau tonu ana nga painga o nga rawa o nga ahuatanga whanui whanui me nga taonga waiariki. Ka whakatauritea ki nga wafers SiC 6-inihi, iti ake ranei, ka tukuna e te papaaho 12-inihi neke atu i te 300% te nui ake o te waahi mo ia wafer, ka tino piki ake nga hua mate me te whakaiti i nga utu hanga mo nga taputapu hiko. Ko tenei whakawhitinga rahi e whakaata ana i te kunenga o mua o nga wafers silicon, na ia pikinga o te diameter ka nui te whakahekenga utu me nga whakapainga mahi. Ko te 12-inihi SiC tïpako o te kawe waiariki pai (tata ki te 3x o te silicon) me te kaha nui o te pakaru o te waahi ka tino whai hua mo nga punaha waka hiko 800V o muri mai, ka taea e ia nga waahanga hiko kiato me te pai. I roto i nga hanganga 5G, ko te tere tere o te hiko o te rauemi ka taea e nga taputapu RF te mahi i nga iarere teitei ake me te iti o nga mate. Ko te hototahitanga o te tïpako me nga taputapu whakangao silicon kua whakarereketia ka ngawari ake te tangohanga mai e nga papanga o naianei, ahakoa e hiahiatia ana te whakahaere motuhake na te tino pakeke o SiC (9.5 Mohs). I te pikinga o nga pukapuka whakaputa, ko te 12-inihi SiC tïpako e tika ana kia noho hei paerewa ahumahi mo nga tono kaha-nui, e akiaki ana i nga mahi auaha puta noa i te miihini, te kaha whakahou, me nga punaha hurihanga hiko.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Tawhā Hangarau

12 inihi Silicon Carbide (SiC) Whakatakotoranga Papanga
Kōeke		ZeroMPD Production Kōeke(Z Kōeke)	Waihanga Paerewa Kōeke(P Kōeke)		Kōeke Dummy (D Kōeke)
Diamita		3 0 0 mm~1305mm
Mātotoru	4H-N	750μm±15μm	750μm±25μm
	4H-SI	750μm±15μm	750μm±25μm
Takotoranga Wafer		Tuaka Weto : 4.0° ki te <1120 >±0.5° mo te 4H-N, I te tuaka : <0001>±0.5° mo te 4H-SI
Kiatotanga Micropipe	4H-N	≤0.4cm-2	≤4cm-2		≤25cm-2
	4H-SI	≤5cm-2	≤10cm-2		≤25cm-2
Te ātete	4H-N	0.015~0.024 Ω·cm			0.015~0.028 Ω·cm
	4H-SI	≥1E10 Ω·cm			≥1E5 Ω·cm
Kaupapa Papatahi Tuatahi		{10-10} ±5.0°
Te Roa Papatahi Tuatahi	4H-N	N/A
	4H-SI	Kaniwha
Whakakorenga Tapa		3 mm
LTV/TTV/Kopere / Warp		≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm			≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm
Te taratara		Poroni Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0.2 nm			Ra≤0.5 nm
Nga Kapiti Tapa Na Te Maama Nui Nga Pereti Hex Na Te Maama Nui Nga Rohe Polytype Ma te Maama Maama Nui Nga Whakauru Wao Ataata Nga Rakuraku o te Mata Silicon Na Te Maama Nui		Karekau Horahanga whakahiato ≤0.05% Karekau Horahanga whakahiato ≤0.05% Karekau			Te roa whakaemi ≤ 20 mm, kotahi te roa≤2 mm Horahanga whakahiato ≤0.1% Horahanga whakahiato≤3% Horahanga whakahiato ≤3% Roa whakahiato≤1×wafer diameter
Tapahi Tapa Na Te Maama Kaha Teitei		Kore e whakaaetia kia ≥0.2mm te whanui me te hohonu			7 whakaaetia, ≤1 mm ia
(TSD) Wehenga wiro miro		≤500 cm-2		N/A
(BPD) Te wehenga rererangi turanga		≤1000 cm-2		N/A
Ko te Whakakino o te Mata o Silicon Na te Maama Maama Nui		Karekau
Te takai		Ripene Angiangi-maha, Ipu Angiangi Kotahi ranei
Tuhipoka:
1 Ko nga rohe koha ka pa ki te mata angiangi katoa engari mo te waahi whakakorenga taha. 2Me tirohia nga rakuraku ki te kanohi Si anake. 3 Ko nga raraunga wehenga mai i nga angiangi kua taraihia e KOH.

Nga waahanga matua

1. Rahi Rahi Painga: Ko te 12-inihi SiC tïpako (12-inihi silicon carbide tïpako) e whakarato ana i te wähanga kotahi-wafer nui ake, e taea ai te maha atu o nga maramara ki te whakaputa mo ia wafer, na reira ka whakaiti i nga utu hanga me te piki ake o nga hua.
2. Mahinga Mahinga Nui: Ko te kaha o te wera nui o te Silicon carbide me te kaha o te kaha o te waahi pakaru ka tino pai te taputapu 12-inihi mo nga tono ngaohiko teitei me te waahi nui, penei i nga hurihuri EV me nga punaha utu tere.
3. Tukatuka Hototahi: Ahakoa te kaha o te pakeke me nga wero tukatuka o SiC, ko te 12-inihi SiC tïpako ka whakatutuki i nga hapa o raro o te mata ma te whakapai ake i nga tikanga tapahi me te whakakoi, te whakapai ake i te hua o te taputapu.
4. Whakahaere Weariki Kairangi: Ma te pai ake o te kawe i te waiariki atu i nga rauemi e hangai ana ki te silicon, ko te taputapu 12-inihi te whakatika i te whakamaaramatanga o te wera i roto i nga taputapu hiko teitei, me te whakaroa i te oranga o nga taputapu.

Nga Tono Matua

1. Waka Hiko: Ko te 12-inihi SiC tïpako (12-inihi silicon carbide tïpako) he wähanga matua o ngä pünaha taraiwa hiko o muri mai, e taea ai te whakahuri i te kaha teitei e whakanui ana i te awhe me te whakaiti i te wa utu.

2. Nga Teihana Turanga 5G: Ko nga taputapu SiC rahi-nui e tautoko ana i nga taputapu RF auau teitei, e tutuki ana i nga hiahia o nga teihana turanga 5G mo te kaha nui me te iti o te mate.

3.Industrial Power Supplies: I roto i te hurihanga solar me te matiti atamai, ka taea e te tïpako 12-inihi te tu i nga ngaohiko teitei ake i te whakaiti i te ngaronga o te kaha.

4.Consumer Electronics: Ka taea e nga kaitahuri tere me nga taputapu hiko o te pokapū raraunga te tango i nga taputapu SiC 12-inihi hei whakatutuki i te rahi kiato me te pai ake.

Nga Ratonga a XKH

He tohunga taatau ki nga ratonga tukatuka kua whakaritea mo nga taputapu SiC 12-inihi (12-inihi carbide silicon carbide), tae atu ki:
1. Dicing & Oro: Tukatuka iti-kino, teitei-flatness tukatuka tïpako whakahāngaitia ki ngā whakaritenga kiritaki, whakarite pūmau mahi pūrere.
2. Tautoko Tipu Epitaxial: Ko nga ratonga angiangi epitaxial teitei hei whakatere i te hanga maramara.
3. Te Whakatauira Iti-Turanga: Ka tautoko i te whakamanatanga R&D mo nga umanga rangahau me nga umanga, ka whakapoto i nga huringa whanaketanga.
4. Whakawhitiwhiti Hangarau: Nga otinga mutunga-ki-mutunga mai i te kowhiringa rauemi ki te tukatuka arotautanga, hei awhina i nga kaihoko ki te wikitoria i nga wero tukatuka SiC.
Ahakoa mo te hanga papatipu, mo nga whakaritenga motuhake ranei, ko o maatau ratonga taapiri SiC 12-inihi e hono ana ki o hiahia kaupapa, e whakamana ana i nga mahi hangarau.