12 Inihi SiC substrate Diameter 300mm Te Matotoru 750μm 4H-N Momo ka taea te whakarite

Whakaahuatanga Poto:

I te wahanga tino nui i roto i te whakawhiti a te ahumahi semiconductor ki nga otinga pai ake, kiato, na te putanga mai o te 12-inihi SiC tïpako (12-inihi hiako carbide tïpako) i tino huri te whenua. Ka whakatauritea ki nga korero tuku iho 6-inihi me te 8-inihi, ko te painga nui-rahi o te tïpako 12-inihi ka piki ake te maha o nga maramara ka mahia mo ia wafer neke atu i te wha. Hei taapiri, ko te utu o te taputapu SiC 12-inihi ka whakahekehia e te 35-40% ka whakaritea ki nga taputapu 8-inihi tikanga, he mea tino nui mo te whanuitanga o nga hua mutunga.
Na roto i te whakamahi i a maatau hangarau whakatipu waka kohu, kua tutuki i a maatau te whakahaere-a-ahumahi mo te kiato wehenga i roto i nga kiripiri 12-inihi, e whakarato ana i te turanga rawa mo nga mahi hanga taputapu. He mea tino nui tenei ahunga whakamua i waenga i te ngoikore o te maramara o te ao.

Ko nga taputapu hiko matua i roto i nga tono o ia ra—penei i nga teihana tere-tere EV me nga teihana turanga 5G—kei te kaha haere te tango i tenei taputapu rahi-rahi. Ina koa i roto i te pāmahana teitei, te ngaohiko teitei, me etahi atu taiao whakahaere kino, 12-inihi SiC tïpako e whakaatu ana i te pai rawa atu ki te whakataurite ki nga rauemi hanga-silicon.

Tukuna he imeera ki a matou

Ngā āhuatanga

Tawhā hangarau

12 inihi Silicon Carbide (SiC) Whakatakotoranga Papanga
Kōeke		ZeroMPD Production Kōeke(Z Kōeke)	Waihanga Paerewa Kōeke(P Kōeke)		Kōeke Dummy (D Kōeke)
Diamita		3 0 0 mm~1305mm
Te matotoru	4H-N	750μm±15μm	750μm±25μm
	4H-SI	750μm±15μm	750μm±25μm
Takotoranga Wafer		Tuaka Weto : 4.0° ki te <1120 >±0.5° mo te 4H-N, I te tuaka : <0001>±0.5° mo te 4H-SI
Kiatotanga Micropipe	4H-N	≤0.4cm-2	≤4cm-2		≤25cm-2
	4H-SI	≤5cm-2	≤10cm-2		≤25cm-2
Te ātete	4H-N	0.015~0.024 Ω·cm			0.015~0.028 Ω·cm
	4H-SI	≥1E10 Ω·cm			≥1E5 Ω·cm
Kaupapa Papatahi Tuatahi		{10-10} ±5.0°
Te Roa Papatahi Tuatahi	4H-N	N/A
	4H-SI	Kaniwha
Whakakorenga Tapa		3 mm
LTV/TTV/Kopere/Warp		≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm			≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm
Te taratara		Poroni Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0.2 nm			Ra≤0.5 nm
Nga Kapiti Tapa Na Te Maama Nui Nga Pereti Hex Na Te Maama Nui Nga Rohe Polytype Ma te Maama Maama Nui Nga Whakauru Wao Ataata Nga Rakuraku o te Mata Silicon Na Te Maama Nui		Karekau Horahanga whakahiato ≤0.05% Karekau Horahanga whakahiato ≤0.05% Karekau			Te roa whakaemi ≤ 20 mm, kotahi te roa≤2 mm Horahanga whakahiato ≤0.1% Horahanga whakahiato≤3% Horahanga whakahiato ≤3% Roa whakahiato≤1×wafer diameter
Tapahi Tapa Na Te Maama Kaha Teitei		Kore e whakaaetia kia ≥0.2mm te whanui me te hohonu			7 whakaaetia, ≤1 mm ia
(TSD) Wehenga wiro miro		≤500 cm-2		N/A
(BPD) Te wehenga rererangi turanga		≤1000 cm-2		N/A
Ko te Whakakino o te Mata o Silicon Na te Maama Maama Nui		Karekau
Te takai		Ripene Angiangi-maha, Ipu Angiangi Kotahi ranei
Tuhipoka:
1 Ko nga rohe koha ka pa ki te mata angiangi katoa engari mo te waahi whakakorenga taha. 2Me tirohia nga rakuraku ki te kanohi Si anake. 3 Ko nga raraunga wehenga mai i nga angiangi kua taraihia e KOH.

Nga waahanga matua

1.Te kaha o te whakaputa me te utu utu: Ko te hanga papatipu o te 12-inihi SiC substrate (12-inihi silicon carbide substrate) tohu he wa hou i roto i te hanga semiconductor. Ko te maha o nga maramara ka taea mai i te angiangi kotahi ka eke ki te 2.25 nga wa o nga taputapu 8-inihi, he mea tika kia piki ake te pai o te whakaputa. Ko nga urupare a nga kaihoko e tohu ana ko te tango i nga taputapu 12-inihi kua whakahekehia o raatau utu whakangao hiko hiko ma te 28%, ka puta he painga whakataetae i roto i te maakete tino tautohetohe.
2.Ko nga Taonga Tino Tino: Ko te 12-inihi SiC tïpako ka whakawhiwhia ki nga painga katoa o nga rawa carbide silicon - he 3 nga wa e rere ana te waiariki ki te silicon, i te mea ka eke te kaha o te waahi pakaru ki te 10 nga wa o te silicon. Ko enei ahuatanga ka taea e nga taputapu i runga i nga taputapu 12-inihi te mahi i roto i nga taiao teitei-nui atu i te 200°C, e tino pai ana mo nga tono tono penei i nga waka hiko.
Hangarau 3.Surface Maimoatanga: Kua whakawhanakehia e matou he tukanga whakakoi miihini matū hou (CMP) mo nga taputapu SiC 12-inihi, ka eke ki te papatahi o te taumata ngota (Ra<0.15nm). Ka whakatauhia e tenei pakaruhanga te wero o te ao mo te maimoatanga mata angiangi silicon carbide angiangi-diamita, te whakakore i nga arai mo te tipu epitaxial-kounga teitei.
4.Thermal Whakahaere Mahi: I roto i nga tono mahi, 12-inihi SiC substrates whakaatu kaha tohanga wera faahiahia. Ko nga raraunga whakamatautau e whakaatu ana i raro i te kaha o te hiko, ko nga taputapu e whakamahi ana i nga taputapu 12-inihi e mahi ana i te mahana 40-50°C iti iho i nga taputapu-a-silicon, e tino whakaroa ana i te oranga o nga taputapu.

Nga Tono Matua

1.Te Pūnaha Waa Waka Hou: Ko te 12-inihi SiC tïpako (12-inihi silicon carbide tïpako) kei te huri i te hoahoanga hiko o te waka hiko. Mai i nga riihini o runga (OBC) ki nga hurihuri taraiwa matua me nga punaha whakahaere pākahiko, ko nga whakapainga pai i kawea mai e nga taputapu 12-inihi ka piki ake te awhe waka ma te 5-8%. Ko nga purongo mai i tetahi kaihanga miihini rongonui e tohu ana ko te tango i o maatau taputapu 12-inihi i whakaitihia te ngaronga o te hiko i roto i o raatau punaha tere-tere na te 62%.
2.Rangai Pungao Whakahou: I roto i nga teihana hiko photovoltaic, inverters i runga i nga taputapu SiC 12-inihi kaore i te whakaatu noa i nga ahuatanga ahua iti engari ka tutuki ano hoki te pai o te huringa neke atu i te 99%. Ina koa i roto i nga ahuatanga o te whakatipuranga kua tohatohahia, ko tenei tino pai te whakamaoritanga ki nga penapena a-tau o nga rau mano yuan i roto i nga mate hiko mo nga kaiwhakahaere.
3.Industrial Automation: Ko nga kaitahuri auau e whakamahi ana i nga taputapu 12-inihi e whakaatu ana i nga mahi pai i roto i nga robots ahumahi, nga taputapu miihini CNC, me etahi atu taputapu. Ko o raatau ahuatanga whakawhiti tere-nui te whakapai ake i te tere whakautu motuka ma te 30% i te wa e whakahekehia ana te wawaotanga hiko ki te kotahi hautoru o nga otinga tikanga.
4.Whakahoutanga Hiko Kaihoko: Kua timata nga hangarau utu tere-tere o muri-whakatupuranga ki te tango i nga taputapu SiC 12-inihi. E matapaetia ana ko nga hua utu tere i runga ake i te 65W ka tino whakawhiti ki nga otinga carbide silicon, me nga taputapu 12-inihi ka puta hei whiringa utu-mahi tino pai.

XKH Ratonga Whakaritea mo te 12-inihi SiC Substrate

Hei whakatutuki i nga whakaritenga motuhake mo nga taputapu SiC 12-inihi (12-inihi nga taputapu carbide silicon), ka tukuna e XKH he tautoko ratonga matawhānui:
1.Whakaritenga Matotoru:
Ka whakaratohia e matou nga taputapu 12-inihi i roto i nga momo waahanga matotoru tae atu ki te 725μm hei whakatutuki i nga hiahia tono rereke.
2.Doping kukū:
Ka tautokohia e ta maatau hangahanga nga momo kawenga maha tae atu ki nga taputapu momo-n me nga momo-p, me te mana parenga i roto i te awhe o te 0.01-0.02Ω·cm.
3.Ratonga Whakamatau:
Ma nga taputapu whakamatautau taumata-wafer, ka tukuna e matou nga purongo tirotiro.
Kei te mohio a XKH kei ia kaihoko nga whakaritenga motuhake mo nga taputapu SiC 12-inihi. Na reira ka tukuna e matou nga tauira mahi tahi pakihi ngawari ki te whakarato i nga otinga tino whakataetae, ahakoa mo:
· Tauira R&D
· Hokonga whakaputanga rōrahi
Ko o maatau ratonga e whakarite ana ka taea e matou te whakatutuki i o hiahia hangarau me o hiahia whakaputa mo nga taputapu SiC 12-inihi.