100mm 4inihi GaN i runga i te Sapphire Epi-layer wafer Gallium nitride epitaxial wafer

100mm 4inihi GaN i runga i te Sapphire Epi-apa angiangi Gallium nitride epitaxial angiangi Ataahua

Whakaahuatanga Poto:

Ko te pepa epitaxial Gallium nitride he kanohi angamaheni mo te tuatoru o nga whakatipuranga o nga rauemi epitaxial semiconductor whaanui whanui, he pai rawa nga ahuatanga penei i te aputa roopu whanui, te kaha o te waahi pakaru, te kawe waiariki teitei, te tere tere tere tere tere, te kaha o te aukati iraruke me te teitei. pūmautanga matū.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko te tukanga tipu o GaN puru LED hanganga puna quantum. Ko nga rerenga tukanga taipitopito e whai ake nei

(1) Te tunu kai teitei, ka wera tuatahi te taputapu hapira ki te 1050 ℃ i roto i te hau hauwai, ko te kaupapa ko te horoi i te mata o te tïpako;

(2) Ka heke te pāmahana o te tïpako ki te 510 ℃, ka tukuna he paparanga parepare GaN/AlN iti-mahana me te matotoru o te 30nm ki runga i te mata o te taputapu sapphire;

(3) Ka piki ake te pāmahana ki te 10 ℃, ka werohia te haukini hau tauhohenga, te trimethylgallium me te silane, e whakahaere ana i te tere o te rere e rite ana, a ka tipuhia te GaN-momo-gaN o te 4um te matotoru;

(4) Ko te hau tauhohenga o te konumohe trimethyl me te gallium trimethyl i whakamahia ki te whakarite i nga konitineta N-momo A⒑ silicon-doped me te matotoru o te 0.15um;

(5) 50nm Zn-doped InGaN i whakaritea ma te werohia te trimethylgallium, te trimethylindium, te diethylzinc me te haukini i te mahana o te 8O0 ℃ me te whakahaere i nga rerenga rere rereke;

(6) I whakanuia te pāmahana ki te 1020 ℃, trimethylaluminum, trimethylgallium me bis (cyclopentadienyl) konupora i werohia hei whakarite i te 0.15um Mg doped P-momo AlGaN me te 0.5um Mg doped P-momo G te huka toto;

(7) Ko te ahua P-momo GaN Sibuyan kiriata teitei i whiwhihia ma te whakauru i te hau hauota i te 700 ℃;

(8) Te tuhi i runga i te mata stasis P-momo G hei whakaatu i te mata stasis N-momo G;

(9) Te whakaetonga o nga pereti whakapiri Ni/Au i runga i te mata p-GaNI, te whakaetonga o nga pereti whakapiri △/Al i runga i te mata ll-GaN hei hanga i nga hiko.

Whakatakotoranga

Tūemi	GaN-TCU-C100	GaN-TCN-C100
Ahu	e 100 mm ± 0.1 mm
Te matotoru	4.5±0.5 um Ka taea te whakarite
Takotoranga	Rererangi-C(0001) ±0.5°
Momo Whakahaere	Momo-N (Karekau)	Momo-N (Si-doped)
Parenga (300K)	<0.5 Q・cm	<0.05 Q・cm
Te Kaikawe Kawe	<5x10¹⁷cm^-3	> 1x10¹⁸cm^-3
Te nekeneke	~ 300 cm²/Vs	~ 200 cm²/Vs
Te Tototanga Wehenga	Iti iho i te 5x10⁸cm^-2(kua tatauhia e nga FWHM o XRD)
Te hanganga papa	GaN i runga i te Sapphire(Paerewa: Kōwhiringa SSP: DSP)
Horahanga Mata Ka taea te whakamahi	> 90%
Mōkī	Ka mau ki roto i te akomanga 100 te taiao ruma ma, i roto i nga rīpene 25pcs, ipu angiangi kotahi ranei, i raro i te hau hauota.